Silikonako karburo itsasontziak

Silikonazko karburo kartzelatuek aparteko egonkortasun termikoa erakusten dute, oxidazio eta difusio prozesuetarako beharrezkoak diren muturreko tenperaturak jasateko aukera emanez. Haien aurkako erresistentzia termiko bikainak pitzadura edo deformazio arriskua minimizatzen du, iraupen operatibo luzea ziurtatuz. Dentsitate handiko SIC konposizioak indar mekaniko goi mailakoak eskaintzen ditu, egiturazko osotasuna mantentzen du, baita txirrindularitza termiko etengabea ere. Estres mekanikoarekiko aparteko erresistentzia honek oblaren kutsadura eta haustura egiteko probabilitatea murrizten du, prozesu altuko errendimenduak egiten lagunduz. Gainera, SIC itsasontziek erresistentzia kimiko bikaina dute, oxidazioan eta zabalkunde urratsetan erabiltzen diren prozesu oldarkorreko gasak. Ezaugarri honek nahigabeko erreakzioak ekiditen ditu, wafer garbitasuna eta ekoizpen eraginkortasuna arriskuan jar ditzakeena.

Silizio karburo itsasontziak oxidazio eta difusio labeetan erabiltzen dira batez ere, tenperatura altuak eta gaso erreaktiboak diren gaineko azaleko kontrol zehatza. Oihal termikoan oxidor termikoan laguntzen dute, kalitate handiko silizio dioxido geruzak hazteko eta dopin uniformea ​​errazteko gas dopantaren esposizio kontrolatuaren bidez. Gainera, bero-esposizio luzea eskatzen duten tenperatura altuko tratamenduak eta tenperatura altuko tratamenduak eskaintzen dituzte.

Kuartzo tradizionalaren eta grafito itsasontziekin alderatuta, silizio karburo itsasontziek parekorik gabeko iraunkortasuna, iraupena eta errendimendua eskaintzen dituzte. Ingurune termiko gogorrak jasateko duten gaitasunak, kutsadura gutxitzen duten bitartean, zehaztasun handiko erdieroaleen fabrikaziorako aukera hobeagoa da. Kalitatea eta berrikuntza ardatz hartuta, gure silizio karburo itsasontziek errendimendu handiagoa eskaintzen dute, mundu osoko erdieroaleen fabrikatzaileentzako errendimendu altuak eta waffer prozesatzeko modu eraginkorrean. Nodo teknologia aurreratuetarako edo ondarearen erdieroaleen fabrikaziorako, itsasontzi hauek irtenbide fidagarria eskaintzen dute industria-eskakizun zorrotzak asetzeko.

(1) Silikonaren karburo itsasontziek material erdieroaleak eramaten dituzte, esaterako, ogiak barne euskarrian edo zirrikituetan, eta silikonazko karburo materialen tenperatura eta korrosioarekiko erresistentzia erabiltzen dute, kanpoko ingurunetik babesteko tenperatura eta korrosioaren erresistentzia.

(2) Berokuntza uniformea: silizio karburo itsasontziak barrutik berotzen du bero tratamendu prozesuan zehar. Honek jarioaren zati bakoitzaren tenperatura eta erreakzio tasa bermatzen laguntzen du bero tratamendu prozesuan koherenteak direla, eta, horrela, ogitartekoaren etekina eta kalitatea hobetzen dira.

Gaur egun hiru mota nagusi daudesilizio karburo zeramikoaMaterialak: erreakzioa sinterizatzea, presio gabeko sinterizatzea eta birziklalizatzea sinterizatzea. Aplikazio gehienetan, erreakzio sinterizatutako silizio karburoa produktu egokiagoa eta errentagarriagoa da. SIC itsasontzi birziklalizatuak normalean unitateak eta prozesuak prozesatzen ditu lehenengo, eta erabili Si pasta zatiak tenperatura altuan konbinatzeko eta azkenik aplikatu CVD-sic estaldura (100um inguru). Birkratzeak porotsua denez, SIC estaldurarik ez badago, partzialak ere sartuko ditu erdieroale prozesuan. CVD-sic estaldurarekin SIC itsasontzi birkristalizatu mota honek fabrikazio prozesu luzeena du eta oso garestia da. SIC estalitako grafito itsasontziekin alderatuta, CVD-sic estalitako sic itsasontziz ez dute CTE desoreka arazorik.