SICOI oblea, teknika berezi baten bidez egindako silizio karburo-isolatzaile konposatua, zirkuitu integratu fotonikoetan eta sistema mikroelekromekanikoetan (MEMS) erabiltzen da batez ere. Egitura konposatu honek silizio karburoaren propietate bikainak eta isolatzaileen isolamendu ezaugarriak konbinatzen ditu, gailu erdieroaleen errendimendu orokorra nabarmen hobetuz eta errendimendu handiko gailu elektroniko eta optoelektronikoetarako soluzio ezin hobeak eskaintzen ditu.
GARAostiaHiru geruzako egitura duen material erdieroale konposatua da, metodo berezia erabiliz egiten dena.
SICOI oblearen egituraren beheko geruza siliziozko substratua da, euskarri mekaniko fidagarria eskaintzen duena SICOI oblearen egitura-egonkortasuna bermatzeko. Bere eroankortasun termiko optimoak bero-metaketaren eragina murrizten du gailu erdieroaleen errendimenduan, denbora luzez normal funtziona dezaten ahalbidetzen du potentzia handian ere. Gainera, siliziozko substratua bateragarria da gaur egun erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen diren ekipo eta makineriarekin. Horrek arrakastaz murrizten ditu fabrikazio-kostuak eta konplexutasuna produktuen I+G eta ekoizpen masiboa bizkortzen dituen bitartean.
Silizio-substratuaren eta SiC gailuaren geruzaren artean kokatuta, oxido-geruza isolatzailea SICOI oblearen erdiko geruza da. Goiko eta beheko geruzen arteko korronte-bideak isolatuz, oxido-geruza isolatzaileak zirkuitu laburrak izateko arriskua murrizten du eta gailu erdieroaleen errendimendu elektriko egonkorra bermatzen du. Xurgapen baxuaren ezaugarria dela eta, sakabanatze optikoa nabarmen murrizten du eta gailu erdieroaleen seinale optikoen transmisioaren eraginkortasuna hobetu dezake.
Silizio Karburoko gailuaren geruza SICOI oblearen egituraren oinarrizko geruza funtzionala da. Ezinbestekoa da errendimendu handiko funtzio elektroniko, fotoniko eta kuantikoak lortzeko bere aparteko erresistentzia mekanikoagatik, errefrakzio-indize altuagatik, galera optiko baxuagatik eta eroankortasun termiko nabarmenagatik.
SICOI obleen aplikazioak:
1.Maiztasun optikoko orrazia bezalako gailu optiko linealak fabrikatzeko.
2.Txip fotoniko integratuak fabrikatzeko.
3.Moduladore elektro-optikoa fabrikatzeko
4. Potentzia elektronikako gailuak fabrikatzeko, hala nola, etengailuak eta RF gailuak.
5.MEMS sentsoreak fabrikatzeko azelerometroa eta giroskopioa bezalakoak.