SiC Wafer Boat Carrier

Erdieroaleen fabrikazioaren garapen azkarreko panoraman, zehazki, EVs, 5G azpiegitura eta energia berriztagarrietarako SiC eta GaN gailu elektrikoen ekoizpena, zure obleak maneiatzeko hardwarearen fidagarritasuna negoziaezina da. Semicorex SiC Wafer Boat Carrier-ek materialen ingeniaritzaren gailurra adierazten du, kuartzo eta grafito osagai tradizionalak ordezkatzeko diseinatua tenperatura altuko eta purutasun handiko inguruneetan.

Zergatik Silizio Karburoa Industria Aukera da

Erdieroaleen nodoak uzkurtzen diren heinean eta obleen tamainak 200 mm (8 hazbete) aldera igarotzen dira, kuartzoaren muga termiko eta kimikoak botila-lepo bihurtzen dira. Gure SiC Wafer Boat Carrier erabiliz diseinatuta dagoSilizio-karburo sinterizatuaedo CVDz estalitako SiC, eroankortasun termikoaren, erresistentzia mekanikoaren eta inertetasun kimikoaren konbinazio paregabea eskainiz.

1. Aparteko Egonkortasun Termikoa

Material tradizionalak sarritan "erraldia" edo deformazioa pairatzen du difusiorako eta errekozitzeko behar diren muturreko tenperaturetara jasaten direnean. Gure SiC Wafer Boat Carrier-ek egituraren osotasuna mantentzen du 1.600 °C-tik gorako tenperaturan. Egonkortasun termiko handi honek obleen zirrikituak primeran lerrokatuta mantentzen direla bermatzen du, obleen "karraska" edo traba egitea saihestuz transferentzia automatizatu robotikoetan.

2. Garbitasun handia eta kutsadura baxua

Gela garbiko ingurune batean, partikulak errendimenduaren etsaia dira. Gure itsasontzi-garraioek CVD (Lurrun Kimikoen Deposizioa) estaldura-prozesu propio bat jasaten dute. Honek gainazal trinko eta ez-porotsua sortzen du, ezpurutasun-gasatzearen aurkako hesi gisa jokatzen duena. Metalezko ezpurutasun-maila oso baxuekin, gure garraiolariek ziurtatzen dute zure obleak (Silizioa edo Silizio-karburoa) kutsadura gurutzaturik gabe geratzen direla bero handiko ziklo kritikoetan.

3. Batekatutako CTE (Hedapen Termikoaren Koefizientea)

Obleen tentsioaren eta irristatze-lerroen kausa nagusietako bat garraiolariaren eta oblearen arteko hedapen termikoaren desegokitzea da. Gure SiC itsasontziak SiC obleekin oso bat datorren CTE batekin diseinatuta daude. Sinkronizazio honek estres mekanikoa murrizten du berotze eta hozte bizkorreko faseetan (RTP), trokelaren errendimendu orokorra nabarmen hobetuz.

Funtsezko zehaztapen teknikoak

Fabrikazio Aurreratuko aplikazioak

Gure SiC Wafer Boat Carrier fabrikako "zona beroa" prozesu zorrotzenetarako optimizatuta dago:

• LPCVD & PECVD: aitzindari kimikoekiko erresistentzia handiak itsasontzia degradatzea eragozten du, prozesu-kitaren iraupen iraunkorra bermatuz.
• Tenperatura handiko oxidazioa: kuartzoa ez bezala, SiC ez da desvitrifikatzen, bere indarra milaka ziklotan mantenduz.
• Hedapena eta erretilua: ontzian zeharreko uniformetasun termikoak loteko ostia bakoitzak profil termiko berdina izango duela bermatzen du.
• SiC Epitaxia: SiC substratuetan geruza epitaxialak hazteko beharrezkoak diren ingurune gogorrak jasateko bereziki diseinatua.

Iraunkortasunak kostu-eraginkortasuna betetzen du

SiC hardwarearen hasierako inbertsioa kuartzoa baino handiagoa den arren, Jabetzaren Kostu Totala (TCO) nabarmen txikiagoa da. Gure eramaileak iraupenerako eraikita daude, askotan material tradizionalek baino 5 eta 10 aldiz gehiago irauten dute. Honek erremintaren geldialdiaren maiztasuna murrizten du piezak aldatzeko eta ostia garestien sorta oso bat hondatu dezakeen itsasontzien hutsegite hondamendiaren arriskua murrizten du.

Fida ezazu zure prozesua frogatutako ingeniaritzari

Erdieroaleen industrian "nahikoa ona" ez dela inoiz nahikoa ulertzen dugu. Gure fabrikazio prozesuak % 100 CMM dimentsioko ikuskapena eta purutasun handiko ultrasoinu garbiketa barne hartzen ditu hutsean ontziratu aurretik.

200 mm-ko SiC gailu elektriko-lerroa handitzen ari zaren ala ez, edo ondarezko 150 mm-ko prozesu bat optimizatzen ari zaren ala ez, gure ingeniaritza-taldea eskuragarri dago zirrikituen eremua, itsasontzien luzera eta heldulekuaren konfigurazioak pertsonalizatzeko zure labearen eskakizun zehatzetara egokitzeko.