SiC Hutseko Chuck

Semicorex SiC Vacuum Chuck bereziki diseinatutako tresna bat da, erdieroaleen obleak segurtasunez eusten dituena prozesatzeko fase kritikoetan egonkortasun eta fidagarritasun handienarekin. SiC Vacuum chuck-en CVD SiC estaldurak aparteko erresistentzia mekanikoa, erresistentzia kimikoa eta egonkortasun termikoa eskaintzen ditu, ostia delikatuak kalte edo kutsadura potentzialetatik babestuta daudela bermatuz.

SiC Vacuum Chuck-en grafitoaren eta SiC estalduraren konbinazio bereziak eroankortasun termiko handia eta hedapen termikoaren koefiziente minimoa eskaintzen ditu. Honek beroa xahutzea eraginkorra eta tenperatura uniformea ​​banatzea ahalbidetzen du obleen gainazalean. Ezaugarri hauek ezinbestekoak dira prozesatzeko baldintza optimoak mantentzeko eta erdieroaleen fabrikazio prozesuetan etekina hobetzeko.

SiC Vacuum chuck-a hutseko inguruneekin ere bateragarria da, chuck eta oblearen arteko atxikimendu handiagoa bermatuz. Horrek zehaztasun handiko eragiketetan irristatze- edo okerreko lerrokatze-arriskua ezabatzen du. Bere gainazal ez-porotsuak eta propietate geldoek gasa ateratzea edo partikulen kutsadura saihesten dute, erdieroaleen fabrikazio-ingurunearen purutasuna eta osotasuna bermatuz.

Semicorex SiC Vacuum Chuck erdieroaleen fabrikazioan oinarrizko teknologia da, eta errendimendu eta iraunkortasun paregabeak eskaintzen ditu industriaren eboluzio eskaerei erantzuteko. Litografian, akuafortean, deposizioan edo beste prozesu kritiko batzuetan erabiltzen den ala ez, soluzio aurreratu honek erdieroaleen obleen manipulazioan eta prozesamenduan bikaintasun estandarrak birdefinitzen jarraitzen du.