SiC Focus Eraztunak

Semicorex aurreratu eta purutasun handiko SiC Focus Eraztunak plasmako grabaketa (edo grabaketa lehorra) ganberetako muturreko inguruneak jasateko eraikita daude. Erdieroaleen industrietan zentratzen gara, hala nola siliziozko karburo geruzak eta epitaxia erdieroaleak. Gure produktuek prezio abantaila ona dute eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen dituzte. Espero dugu zure epe luzerako bazkide bihurtzea Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex-ek SiC Focus Rings hornitzen du benetan egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko. SiC Focus Eraztunak edo ertzeko eraztunak oblearen ertzaren edo perimetroaren inguruan grabatzeko uniformetasuna hobetzeko diseinatuta daude. Minimizatu kutsadura eta programatu gabeko mantentze-lanak plasma bidezko grabaketaren prozesatzeko zorroztasunerako diseinatutako purutasun handiko osagaiekin. SiC estaldura duten SiC Focus Eraztunak silizio karburoa (SiC) estaldura trinkoa eta higadura erresistentea da. Korrosioarekiko eta beroarekiko erresistentzia handiko propietateak ditu, baita eroankortasun termiko bikaina ere. SiC geruza meheetan aplikatzen dugu grafitoan lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesua erabiliz.

SiC Focus Eraztunen parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristalezko Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

SiC Focus Ring-en ezaugarriak

- CVD Silizio Karburozko estaldurak zerbitzu-bizitza hobetzeko.

- Isolamendu termikoa errendimendu handiko karbono zurrun araztuz egina.

- Karbono/karbono konposatuzko berogailua eta plaka.- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute, eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.

- Garbitasun handiko grafitoa eta SiC estaldura estenopeikoen erresistentzia eta bizitza iraupen handiagoa lortzeko