Erdieroaleen fabrikazio aplikazioetan erabiltzeko errendimendu handiko grafitoaren susceptor baten bila bazabiltza, Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor aukera ezin hobea da. Bere eroankortasun termikoaren eta beroaren banaketaren propietate apartak tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan errendimendu fidagarri eta koherentea lortzeko aukera ematen dute.
Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor aukera ezin hobea da bero banaketa eta eroankortasun termiko aparta behar duten erdieroaleen fabrikazio aplikazioetarako. Bere purutasun handiko SiC estaldurak eta dentsitate handiagoak babes eta bero banaketa propietate bikainak eskaintzen dituzte, errendimendu fidagarria eta koherentea bermatuz ingurune zailenetan ere.
Gure SiC estalitako grafito upel susceptor gas-fluxu laminarraren eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure SiC estalitako grafito-bidoiaren susceptorri buruz gehiago jakiteko.
SiC Coated Graphite Barrel Susceptor-en parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
SiC estalitako grafito barril susceptor-en ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.