Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor Wafer Epitaxial-erako aukera ezin hobea da kristal bakarreko hazkuntza aplikazioetarako, bere gainazal laua eta kalitate handiko SiC estaldurari esker. Bere urtze-puntu altua, oxidazioaren erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia aukera ezin hobea da tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan erabiltzeko.
Bero banaketa eta eroankortasun termiko aparteko grafito suszeptore baten bila zabiltza? Ez begiratu gehiago Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor Wafer Epitaxial-erako, purutasun handiko SiCz estalita, prozesu epitaxialetan eta erdieroaleen fabrikazioko beste aplikazioetan errendimendu handiagoa lortzeko.
Semicorex-en, gure bezeroei kalitate handiko eta errentagarriak diren produktuak eskaintzera bideratzen gara. Gure SiC estalitako barril susceptor Wafer Epitaxial-erako prezio abantaila bat du eta Europako eta Amerikako merkatu askotan esportatzen da. Zure epe luzerako bazkide izatea dugu helburu, kalitatezko produktu koherenteak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
SiC Coated Barrel Susceptor-en parametroak Wafer Epitaxial-erako
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Wafer Epitaxialentzako SiC estalitako barril susceptoraren ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.