Bere urtze-puntu altuarekin, oxidazio-erresistentziarekin eta korrosioarekiko erresistentziarekin, Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor for LPE Growth aukera ezin hobea da kristal bakarreko hazkuntza aplikazioetan erabiltzeko. Bere siliziozko karburozko estaldurak lautasun eta bero banaketa ezaugarri apartak eskaintzen ditu, tenperatura altuko ingurune zorrotzenetan ere errendimendu fidagarria eta koherentea bermatuz.
Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor for LPE Growth kalitate goreneko grafitozko produktua da, purutasun handiko SiCz estalitakoa, LPE prozesuetarako eta erdieroaleen fabrikazioko beste aplikazio batzuetarako bereziki diseinatua. Bere aparteko dentsitateak eta eroankortasun termikoak beroaren banaketa eta babes handiagoa eskaintzen du tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan.
Semicorex-en, kalitate handiko eta kostu-eraginkorra den SiC-Coated Barrel Susceptor eskaintzera bideratzen gara LPE Growthrako, bezeroen gogobetetasuna lehenesten dugu eta irtenbide errentagarriak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
SiC-Coated Barrel Susceptor-en parametroak LPE Hazkunderako
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gaztearen modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
SiC estalitako barril susceptoraren ezaugarriak LPE hazkuntzarako
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.