Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor LPE Epitaxial Growthrako errendimendu handiko produktua da, denbora luzean errendimendu koherentea eta fidagarria eskaintzeko diseinatua. Bere profil termikoa, gas-fluxu laminarraren eredua eta kutsadura prebenitzea aukera ezin hobea da obleen txipetan kalitate handiko geruza epitaxialak hazteko. Bere pertsonalizagarritasuna eta kostu-eraginkortasuna merkatuan oso lehiakorra den produktua da.
Gure SiC estalitako barril susceptor LPE Epitaxial Growthrako kalitate handiko eta fidagarria den produktua da, eta diruaren balio bikaina eskaintzen du. Tenperatura handiko oxidazioaren erresistentzia, profil termikoa ere bada, eta kutsaduraren prebentzioari esker, aukera ezin hobea da obleen txipetan kalitate handiko geruza epitaxialak hazteko. Mantentze-baldintza baxuak eta pertsonalizagarritasunak merkatuan lehiakortasun handiko produktua da.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur LPE Epitaxial Hazkuntzarako gure SiC estalitako barril susceptorrari buruz gehiago jakiteko.
SiC Coated Barrel Susceptor-en parametroak LPE Epitaxial Growthrako
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
LPE Epitaxial Hazkunderako SiC Estalitako Barril Susceptor-en ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.