Bere dentsitate eta eroankortasun termiko handiagoarekin, Semicorex SiC Estalitako Barril Susceptor hazkuntza epitaxialerako aukera ezin hobea da tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan erabiltzeko. Garbitasun handiko SiCz estalita, grafitozko produktu honek babes eta bero banaketa bikaina eskaintzen du, erdieroaleen fabrikazio aplikazioetan errendimendu fidagarria eta koherentea bermatuz.
Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor Epitaxial Growthrako aukera ezin hobea da oble erdieroaleetan geruza epixiala eratzeko, bere eroankortasun termiko eta bero banaketa propietate bikainari esker. Bere siliziozko karburozko estaldurak babes handia eskaintzen du tenperatura altuko eta korrosiboen ingurune zorrotzenetan ere.
Semicorex-en, gure bezeroei kalitate handiko eta errentagarriak diren produktuak eskaintzera bideratzen gara. Gure SiC Estalitako Barril Susceptor Epitaxial Hazkunderako prezio abantaila bat du eta Europako eta Amerikako merkatu askotan esportatzen da. Zure epe luzerako bazkide izatea dugu helburu, kalitatezko produktu koherenteak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
SiC Coated Barrel Susceptor-en parametroak Hazkunde epitaxialerako
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
SiC estalitako barril susceptoraren ezaugarriak Hazkunde epitaxialerako
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.