SiC zeramikazko beso robotikoa

SiC zeramikabeso robotikoaerdieroaleen obleak fabrikatzeko prozesu askotan erabiltzen da, eta obleen fabrikazioaren kalitatea eta eraginkortasuna bermatzeko zeregin garrantzitsua betetzen du. Erdieroaleen aurrealdeko ekipamendu ezberdinen ganberen barruan eta kanpoan instalatzen da normalean, hala nola grabatzeko makinak, deposizio-ekipoak, litografia-makinak, garbiketa-ekipoak, erdieroaleen obleen manipulazioan eta kokapenean zuzenean parte hartzen duena. 

Erdieroaleen obleak partikulek erraz kutsatzen dituzte, beraz, haien fabrikazio-prozesuak batez ere ekipo erdieroale garbietan eta hutsean egiten dira. Benetako funtzionamenduan, ekipo horien funtsezko osagaia den heinean, SiC zeramikazko beso robotikoa zuzenean kontaktuan jartzen da erdieroaleen obleekin eta, gainera, garbitasun oso altuko baldintzak bete behar ditu. Semicorex-en SiC zeramikazko beso robotikoa errendimendu handiko silizio karburozko zeramikaz egina dago, eta ondoren gainazaleko akabera eta garbiketa-tratamendu zehatzak ditu, erdieroaleen fabrikazioaren baldintza zorrotzak garbitasunerako eta gainazal lautasunerako. Horrek nabarmen laguntzen du obleen akatsak murrizten eta obleen ekoizpenaren etekina hobetzen.

SiC zeramikabeso robotikoa aukera ezin hobea da erretiroa, oxidazioa eta difusioa bezalako tratamendu termikorako prozeduretarako. Silizio karburozko materialen egonkortasun termiko paregabea eta kolpe termikoarekiko erresistentzia handia dela eta, SiC zeramikazko beso robotikoak modu fidagarrian funtzionatzeko gai da denbora luzez tenperatura altuko baldintzetan. Hedapen termikoaren eraginari aurre egin diezaioke eta tentsio termikoaren azpian egituraren osotasuna mantenduz, horrela obleen posizionamenduaren zehaztasun koherentea bermatuz.

Gas eta likido korrosiboekiko duen erresistentzia sendoari esker, SiC zeramikazko beso robotikoak bere errendimendua egonkor mantendu dezake prozesu korrosiboen atmosfera oldarkorren eraginpean egonda ere, hala nola akuafortea, film meheen deposizioa eta ioien ezarpena. Korrosioarekiko erresistentzia-errendimendu honek erdieroaleen obleen fabrikazioaren eraginkortasuna hobetzen du, korrosioarekin lotutako osagaien kalteak izateko arriskua eraginkortasunez murrizten baitu eta maiz ordezkatzeko eta mantentzeko beharra murrizten du.