Sic zeramikazko itsasontziak

SIC SIC zeramikazko itsasontziak bereziki diseinatutako punta-puntako garraiolariak dira bereziki garraioak, gordetzeko eta prozesatzeko modu ezberdinekoak, kimikoki eta termikoki muturreko inguruneetan. Erdieroaleen industriak azkar hartu ditu Errendimendu estandar berriak SIC zeramikazko itsasontziak modu fidagarrian, fidagarritasunez eta kutsadurarik gabe behar izan dutenak.

Egonkortasun eta indar termiko sendoa

SIC zeramikazko itsasontzien atributu definitzea egonkortasun termiko oso altua da. SIC zeramikazko itsasontziek 1600 ºC-ko tenperatura jasan dezakete txirrindularitza termiko prozesu oldarkorretan zehar forma edo egitura galdu gabe. Hedapen termikoko koefizientearen ondorioz, zeramikazko itsasontziak desitxuratzeko eta pitzatzeko joera txikiagoak dira, tolerantzia estuak eta orokorraren segurtasuna ahalbidetuz baldintza gogorren pean maneiatzean.

Puritate altua eta erresistentzia kimikoa

SIC zeramikazko itsasontziak silizio karburo ultra-altua kentzen dira. SIC zeramikazko itsasontziak ere oso erresistenteak dira degradazio kimikoaren, korrosibo eta higadura plasmarentzat. SIC zeramikazko itsasontzien izaera inerteak gas korrosiboen prozesuak esan nahi du, ingurune erreaktiboak, baldintza azidoak ez lukete itsasontzitik kutsatzea edo ezer disolbagarria izango lan prozesuan kalte egiteko. SIC zeramikazko itsasontzien gainazal kutsatzaileak ez du partikulen belaunaldirik edo ioi lixibiatzea, beraz, ez da wafer gainazal bat ez da arriskuan jartzen gailuaren errendimendua edo errendimendua oztopatzen duten ezpurutasunez.

Zehaztasun ingeniaritza wafer manipulazio segurua eta segurua lortzeko

SIC zeramikazko itsasontziak tolerantzia estuetan fabrikatzen dira, hainbat diametroko ogiak kudeatzeko aukera emanez, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm, eta gehiago. SIC itsasontzien egiturazko diseinuak lautada bikaina, paralelismoa eta zirrikitu uniformearen tamaina eskaintzen ditu wafer itzultzeko orientazio egokia mantentzeko eta obraren ertzak babesteko beste prozesu edo tresna batera transferitzean. SIC itsasontzi guztiak dimentsio pertsonalizatuak diseinatu daitezke tresnarekin lotzeko edo automatizazio-zehaztapenak betetzeko.

Bizitza luzea eta kostu eraginkorragoa

SIC-ek material tradizionalak ordezkatzen ditu (kuartzoa, alumina) indar mekaniko nabarmen hobetua, haustura gogortasuna eta shock termikoarekiko erresistentzia. Iraunkortasun maila honek bizitza osora itzultzen du "porrota" baino lehen, nabarmen ordezkapen gutxiago funtzionamenduan zehar, eta jabetza kostu oso txikiagoa da. SICren iraunkortasunaren errendimenduaren koherentzia denbora murriztuko da eta erdieroaleen fabrikazio lerroetan zehar azkartu egingo da.

Aplikazio irekiak prozesu erdieroaleetan

SIC zeramikazko itsasontziak oso erabiliak dira aurreko erdieroale prozesuetan:

LPCVD eta PECVD gordailua

Oxidazio termikoa

Ioi inplantazioa

Barneratzea eta zabaltzea

Wafer Garbiketa eta Kimika Tratamendua

Zeramikazko heldulekuek prozesatzeko aplikazio bateragarriak dituzte bai atmosferan eta hutsean prozesuaren ganberetan, fundizioetarako aukera ezin hobea bihurtuz, produktibitatea hobetzen duen bitartean kutsadura arriskua gutxitzeko eta murrizteko.