Sic Cantilever Paddles

SIC Cantilever SIC PAYDLES errendimendu handiko osagaiak dira, hain zuzen ere, waifer manipulatzeko eta wafer garraiatzeko erdieroaleen tratamendu termikoko ekipoetan (LPCVD, PECVD, oxidazio eta difusio labeak). Cantilever Paddles hauek plataforma bat eskaintzen diete ogitartekoetarako eta beharrezko laguntza modu bat, eta horrek tentsio altuko prozesu gogorren bidez (askotan 1200 ° C gainditzen ditu). Cantilever palak purutasun handiko silizio karburo (SIC) fabrikatzen dira, iraunkortasun mekanikoa, egonkortasun termikoa eta korrosiboen anti-korrosiboak eskaintzen dituztenak, erdieroaleen fabrikazio ingurunerako.

Silizio karburoa zeramikazko material primikoa da, eroankortasun termiko bikaina, hedapen termiko txikia eta kimikoki etsai inguruneetan modu fidagarrian egiteko gaitasuna duena. Silizio karburo cantilever padlles-en thermal warping murrizten lagun dezake

 eta mugimenduak lauak eta prozesatzeko posizio nominala mantentzen dituen mugimendua. Wafer egonkortasun termikoa Cantilever Paddles testuinguruan garrantzitsua da partikulen kutsadura eta mugimendu mekanikoko gaiak minimizatzea, batez ere nodo gailu aurreratuak ekoiztean. Gai hauek errendimendu galera edo garestiak berriro lantzea eta ogiak ordezkatzea eragin ditzakete.

SIC Cantilever-eko palak modu monolitikoek sendotasun mekanikoa eta uniformetasun termikoa hobetzen dituzte, normalean konpositeetan egon daitezkeen puntu ahulak eta puntu ahulak ezabatu bitartean. Gainera, padelen gainazalaren akabera berariaz kontrolatzen da, eta, oro har, ispilu-kalitatearen ondoan leunduta dago, partikularen belaunaldia minimizatzeko eta oso garbitzeko klaseak dira.

Oxigenoa, lurruna eta beste gas erreaktiboak dakartzan hedapen eta oxidazio prozesuetan; Ohiko materialak denboran zehar urtu edo deformatu daitezke. SICen berezko jabetza kimikoen jabeak bermatzen ditu palak ez direla kanporatzen edo prozesuan kutsadura sartuko, material ezegonkorrak erabiltzeagatik, prozesu egonkorragoa eta emaitza fidagarriak egiten lagunduz.  SIC Cantilever padelen egiturazko osotasuna egonkorra da berogailua eta hozte bizkorra azkarrago izan arren. Hori dela eta, zerbitzu operatibo luzeko bizitza eskaintzen dute, mantentze-lan murriztua edo zati bat ordezkatzeko denbora gutxirekin.

Gainera, SIC padelen masa murriztuak eta pisu arinak erantzun termiko azkarragoa ahalbidetzen dute; horrela, arroka termiko azkarragoak eta hozteak ahalbidetuz produktibitatea eta energia eraginkortasuna areagotzen laguntzen dute, erdieroaleen fabrikazioko paisaia lehiakorrean.

SIC Cantilever palak konfigurazio eta tamaina eta tamaina desberdinetan hornitu daitezke, diseinatutako eta fabrikatutako labeen diseinuak eta xafla tamaina 100 mm-tik 300 mm-ra eta handiagoak dira. OEMS eta Ekipamendu Integratzaileek denboran zehar SIC padelen koherentzia eta fidagarritasuna eskertzen dute, aurre-muturreko eta atzeko prozesuetan inplementazioetarako.

Zemorxak SIC Cantilever Premiumak eskaintzen ditu material garbitasunari, mikroegiturari eta dimentsioko tolerantziei buruzko kontrol estua dutenak. Gure prozesu aurreratuaren gaitasunak, gure erdieroaleen dinamika termikoen ezagutzarekin batera, egonkortasuna, garbitasuna eta iraunkortasuna lortzeko industria estandarrak betetzen dituzten edo gainditzen dituzten atributu hauekin hornitzeko aukera ematen digu. Zuzena eta fidagarria izan behar denean, erdierox kalitateko SIC osagaiak lortzeko lekua da.