SiC Cantilever Pala

Semicorex SiC (Siliziozko Karburoa) Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD (Presio Beheko Lurrun Kimikoaren Deposizio) labeetan difusioa eta RTP (Prozesaketa Termiko Azkarra) bezalako prozesuetan. Labe hauen prozesu-hodiaren barruan obleak eusteko eta garraiatzeko helburua du.

Semicorex SiC Cantilever Paddle Silizio karburoz osatuta dago batez ere, tenperatura altuko erresistentzia eta propietate mekaniko bikainengatik ezaguna den material sendo eta termikoki egonkorra. SiC labe erdieroaleen tenperatura altuko prozesu-inguruneetan aurkitzen diren baldintza gogorrak jasateko duen gaitasunagatik aukeratzen da. SiC Cantilever Paddle-ren diseinuari esker, labearen prozesu-hodian hedatzen da, hodiaren kanpoaldeko mutur batean sendo ainguratuta dagoen bitartean. Diseinu honek egonkortasuna eta euskarria bermatzen ditu prozesatzen ari diren oblei, labearen barruko ingurune termikoaren interferentziak minimizatzen dituen bitartean.

SiC Cantilever Paddle-ek obleak erdieroaleak modu seguruan eramateko ditu prozesu-hodiaren barruan tenperatura altuko hainbat prozesutan, hala nola difusioa eta RTPa. Bere eraikuntza sendoak prozesu horietan aurkitzen diren muturreko tenperaturak eta ingurune kimikoak degradatu edo hutsegiterik gabe jasan ditzakeela ziurtatzen du. SiC Cantilever Paddles industrian erabili ohi diren erdieroaleen tamaina eta forma sorta zabal batekin bateragarriak izateko diseinatuta daude. Sarritan pertsonalizagarriak dira labearen konfigurazio eta prozesuen eskakizun zehatzetara egokitzeko.