Erdieroaleen oblea Chuck

Semicorex Silizio Karburo Estalitako Osagai aurreratuak eta purutasun handikoak obleak manipulatzeko prozesuan muturreko inguruneak jasateko eraikita daude. Gure Erdieroaleen Wafer Chuck-ek prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex ultra-laua Semicorex Wafer Chuck purutasun handiko SiC estalita dago obleak manipulatzeko prozesuan erabiliz. Semiconductor Wafer Chuck-ek MOCVD ekipamenduak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, muturreko ingurunean egonkortasun handia duena eta etekinaren kudeaketa hobetzen du erdieroaleen obleak prozesatzeko. Azalera-kontaktu baxuko konfigurazioek atzeko aldean partikulen arriskua minimizatzen dute aplikazio sentikorretarako.

Erdieroaleen Wafer Chuck-aren parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristalezko Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300