Semicorex Txinan Silizio Karburo Estalitako Grafito Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile handi bat da. Erdieroaleen industrietan zentratzen gara, hala nola siliziozko karburo geruzak eta epitaxia erdieroaleak. Erdieroaleetarako ekipoetarako gas-sarrerako eraztunak prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.
Ekipo erdieroaleetarako Semicorex Gas Sarrera Eraztuna SiC estalitakoa da, hau da, silizio karburoa (SiC) estaldura trinkoa eta higadura erresistentea duena. Korrosioarekiko eta beroarekiko erresistentzia handiko propietateak ditu, baita eroankortasun termiko bikaina ere. SiC geruza meheetan aplikatzen dugu grafitoan lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesua erabiliz.
Gure ekipo erdieroaleetarako gasaren sarrerako eraztuna gas-fluxu laminarraren eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur erdieroaleen ekipoetarako gas-sarrerako eraztunari buruz gehiago jakiteko.
Gasaren sarrerako eraztunaren parametroak ekipo erdieroaleetarako
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Gasaren sarrerako eraztunaren ezaugarriak ekipo erdieroaleetarako
● Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
● Beroarekiko erresistentzia handia eta uniformetasun termikoa
● Gainazal leunerako estalitako SiC kristal fina
● Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
● Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.