Produktuak

Errendimendu handiko CVD SiC materialez egina, 2L10-506419-21-rako Semicorex CVD SiC foku eraztuna da erdieroaleen doitasuneko grabaketa prozesuetan bereziki diseinatutako eraztun-zati erabakigarria. Semicorex aukeratzeak esan nahi du CVD SiC soluzio ezin hobeak lortuko dituzula grabaketa emaitza zehatzak eta uniformeak lortzeko.

Semicorex SiC estalitako planetario suszeptoreak zehaztasun handiko grafitozko euskarri osagaiak dira, silizio karburozko estaldura trinko batez estalita, bereziki MOCVD ekipamendu aurreratuetarako diseinatuta. Gas-fluxu uniformea ​​eta banaketa termikoa ahalbidetu ditzakete, eta horrela ingurune epitaxial optimoa sortzen laguntzen dute.

Semicorex SiC zeramikazko obleak ontziak errendimendu handiko silizio-karburozko soluzioak dira, obleak segurtasunez babesteko eta garraiatzeko punta-puntako erdieroaleen fabrikazioan. Abantaila bikain horiei esker, oso egokiak dira tenperatura altuko erdieroaleen fabrikazio prozesu zehatzetarako, hala nola oxidazio, difusio eta CVD prozesuetarako.

Semicorex SiC estalitako gasa desbideratzeko diskoak erdieroaleen epitaxial ekipoetan aplikatzen diren grafitozko osagai ezinbestekoak dira, erreakzio gas-fluxua erregulatzeko eta erreakzio-ganberan gasaren banaketa uniformea ​​sustatzeko bereziki diseinatuak. Aukeratu Semicorex, aukeratu gasa desbideratzeko soluzio optimoak kalitate handiko obleen emaitza epitaxialetarako.

Semicorex SiC Wafer Carrier purutasun handiko Silizio Karburoko zeramikaz egina dago, 3D inprimaketa teknologiaren bidez, eta horrek esan nahi du prezio handiko mekanizazio osagaiak lor ditzakeela denbora laburrean. Semicorex-ek kalitate handiko produktu kualifikatuak eskaintzen dizkie mundu osoko bezeroei.*

Semicorex CVD SiC estalitako goiko lurreko eraztunak plasma grabatzeko ekipo sofistikatuetarako bereziki diseinatutako eraztun formako funtsezko osagaiak dira. Semicorex osagai erdieroaleen industriako hornitzaile nagusia den heinean, CVD SiC estalitako goiko lurreko eraztunak kalitate handiko, iraupen luzeko eta ultra-garbiak eskaintzera bideratzen da gure bezero estimatuak eraginkortasun operatiboa eta produktuaren kalitate orokorra hobetzen laguntzeko.