SiC estalitako planeta-jasotzaileak

Semicorex SiC estalitako planetario suszeptoreak ezinbesteko euskarri osagaiak dira Aixtron G2 ekipoetan erdieroale epitaxialaren hazkunderako diseinatuta, zeinetan obleak modu seguruan eusteko eta planetaren mugimenduan biratzeko gai diren. Modu honetan, uniformetasun termiko zehatza eta gasaren banaketa uniformea ​​obleen gainazalean arrakastaz lor daitezke, eta horrek obleetan kalitate handiko geruza epitaxiala jalkitzen du.

Semicorex SiC estalitako planeta-jasotzaileen abantailak

1. Ostia anitzeko poltsikoen diseinua

Semicorex SiC estaliaplanetaren suszeptoreakzehaztasunez kontrolatutako dimentsioekin hainbat ostia-poltsikoren banaketa uniformea ​​dute. Obleen poltsiko hauek obleen substratuei irmo eusteko gai dira hazkuntza epitaxialaren prozesuan zehar, eta horrek modu eraginkorrean minimiza ditzakete obleen substratuen mugimendu nahigabeak eragindako prozesu epitaxialaren aldakuntzak. Horrez gain, oblea anitzeko poltsikoko diseinu honek obleen substratu anitzek aldi berean deposizio epitaxiala jasateko aukera ematen du prozesu bakarrean, hazkuntza epitaxialaren prozesuaren eraginkortasun orokorra asko hobetuz.

2. Gas-fluxuaren zuloen antolaketa optimizatua

Semicorex-ek arreta handiz diseinatutako gas-fluxu-kanalen multzoa barne hartzen duSiC-kaotatuasusceptor planetarioak, gas-fluxuaren dinamika eta uniformetasun termikoaren optimizazioa hobetzen dutenak obleen gainazalean prozesu epitaxial osoan zehar. Diseinu pentsakor honek erreakzio-ganberaren barruan gas-emaria eta banaketaren gaineko kontrola zehatza ahalbidetzen du, eta hori ezinbestekoa da kalitate handiko film meheak, geruzen lodiera uniformea ​​eta gailuaren errendimendu orokorra fidagarria lortzeko.

3. Garbitasun oso altua

Semicorex SiC estalitako planeta-jasogailuak purutasun oso handiko materialekin eta ezpurutasun-maila oso baxuekin fabrikatzen dira, erdieroaleen fabrikazioaren garbitasun-baldintza zorrotzak betez. Eraginkortasunez minimizatzen dute metalezko desgasifikazioak eragindako obleen kutsadura, baita prozesu epitaxialetan ohikoak diren tenperatura altu eta korrosiboetan ere.

4. Iraupen luzeko zerbitzu-bizitza

Semicorex-en kalitate-kontrola gure lehengaien aukeraketa zorrotzarekin hasten da. SiC estalitako planetario suszeptoreak erdieroale-mailako grafitoz eta siliziozko karburoz fabrikatzen dira, eta tenperatura altuko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia bikainak eskaintzen dituzte, tenperatura altuko eta oso korrosiboak diren epitaxial funtzionamendu-baldintza ezin hobeto jasaten dituztenak. Materialen propietate bikain hauekin, Semicorex SiC estalitako planeta-jasotzaileek beren errendimendu koherentea eta egitura-osotasuna mantendu dezakete eta gainazaleko kalteak eta errendimenduaren gainbehera saihestu ditzakete tenperatura altuko eta korrosio handiko erreakzio-ganberetan, eta, horrela, SiC estalitako planeta-jasotzaileen bizitza-bizitza asko luzatuz.