Plasma prozesatzeko foku eraztuna

Semicorex Plasma prozesatzeko foku-eraztuna erdieroaleen industrian plasma-grabatuaren eskakizun handiak asetzeko bereziki diseinatuta dago. Gure silizio-karburo estalitako osagai aurreratuak eta garbitasun handikoak muturreko inguruneak jasateko eraikita daude eta hainbat aplikaziotan erabiltzeko egokiak dira, besteak beste, silizio-karburozko geruzak eta epitaxia erdieroaleak.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Gure Plasma prozesatzeko foku-eraztun oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorrak egiteko, eta aukera ezin hobea da plasma-grabatu (edo grabatu lehorra) ganberetan erabiltzeko. Obleen ertzaren edo perimetroaren inguruan grabatzeko uniformetasuna hobetzeko diseinatuta dago, gure foku-eraztunak edo ertzeko eraztunak kutsadura eta programatu gabeko mantentze-lanak minimizatzeko diseinatuta daude.

Gure SiC estaldura silizio karburozko estaldura trinkoa eta higadura erresistentea da, korrosio eta beroarekiko erresistentzia handiko propietateak eta eroankortasun termiko bikaina duena. SiC geruza meheetan aplikatzen dugu grafitoan lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesua erabiliz. Honek gure SiC Focus Eraztunek kalitate eta iraunkortasun handiagoa dutela bermatzen du, plasma bidezko grabaketa-beharretarako aukera fidagarri bihurtuz.

Jar zaitez gurekin harremanetan gaur Plasma prozesatzeko foku-eraztunari buruz gehiago jakiteko.

Plasma prozesatzeko foku-eraztunaren parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

Plasma prozesatzeko foku eraztunaren ezaugarriak

- CVD Silizio Karburozko estaldurak zerbitzu-bizitza hobetzeko.

- Isolamendu termikoa errendimendu handiko karbono zurrun araztuz egina.

- Karbono/karbono konposatuzko berogailua eta plaka.- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute, eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.

- Garbitasun handiko grafitoa eta SiC estaldura estenopeikoen erresistentzia eta bizitza iraupen handiagoa lortzeko