Homoepitaxiak eta heteroepitaxiak funtsezko eginkizunak betetzen dituzte materialen zientzian. Homoepitaxia material bereko substratu baten gainean geruza kristalino bat haztea dakar, sarearen parekatze perfektuaren ondorioz gutxieneko akatsak bermatuz. Aitzitik, heteroepitaxiak geruza kristalino ba......
Irakurri gehiago0,13 μm eta 28 nm-tik 300 mm-ko diametroa duten siliziozko leuntzeko obleietarako 0,13 μm eta 28 nm-ko lerro zabalerak dituzten IC txip-zirkuitu prozesuen kalitate handiko baldintzak lortzeko, ezinbestekoa da oblearen gainazalean ezpurutasunen kutsadura murriztea, hala nola metal ioiak.
Irakurri gehiago