Zergatik sartzen da CO2-a Wafer Saw Prozesuan zehar

Ebakitzeko uretan CO₂ sartzea neurri tekniko garrantzitsu bat da obleen zerra-prozesuan elektrizitate estatikoa metatzea kentzeko eta kutsadura murrizteko, eta, horrela, txirbilen mozketa-errendimendua eta fidagarritasuna hobetzeko.

Ezabatu elektrizitate estatikoa

Theostiaebakitzeko prozesuak abiadura handiko diamante birakariak erabiltzea eskatzen du ebaketa egiteko, eta DI ura hozteko eta garbitzeko ihinztatutako bitartean. Prozesu horretan, marruskadurak karga estatiko handia sortzen du. Aldi berean, DI urak ionizazio ahula jasaten du presio handiko ihinztaduran eta talketan, ioi kopuru txiki bat sortuz. Siliziozko materialak berak karga elektrikoa erraz pilatzeko ezaugarria du. Elektrizitate estatiko hori kontrolatzen ez bada, bere tentsioa 500V-tik gora igo daiteke, eta deskarga elektrostatikoa eragingo du. Honek zirkuituaren metalezko kableatuak kaltetu edo geruzen arteko pitzadura dielektrikoak eragin ditzake, baizik eta silizio-hautsak oblea kutsatzea eragin dezake adsortzio elektrostatikoa dela-eta edo lotura-altxatze-arazoak lotzeko padetan.

CO₂ uretan sartzen denean, disolbatu eta H₂CO₃ eratzen du. H₂CO₃ ionizazioa jasaten du H⁺ eta HCO₃⁻ ekoizteko, eta horrek nabarmen handitzen du uraren eroankortasuna, eta eraginkortasunez murrizten du. Eroankortasun altu honek karga estatikoen eroapen azkarra ahalbidetzen du ur-fluxuaren bidez lurrera, karga metatzea ekidinez. Gainera, gas elektronegatibo ahule gisa, CO₂ ioniza daiteke energia handiko inguruneetan kargatutako partikulak sortzeko (adibidez, CO₂⁺ eta O⁻). Partikula hauek obleen gainazalek edo hautsek daramaten karga neutralizatu dezakete, eta, horrela, adsortzio elektrostatikoa eta deskarga elektrostatikoa izateko arriskua murrizten dute.

Kutsadura murriztea eta gainazalak babestea

urtean sortutako silizio hautsaostiazerra prozesuak elektrizitate estatikoa pilatu dezake, eta horrek oblea edo ekipoen gainazalera atxiki dezake eta kutsadura eragin dezake. Aldi berean, hozte-ura alkalinoa bada, metal-partikulek (altzairu herdoilgaitzezko Fe, Ni eta Cr ioiak adibidez) hidroxido hauspeak sortzea eragingo dute. Hidroxido-hauspeitatuak obleen gainazalean edo dado-kanaletan metatuko dira, txirbilaren kalitatea eraginez.

CO₂ sartzen denean, karga elektrikoak neutralizatzen ditu, hautsaren eta gainazalen arteko indar elektrostatikoa ahulduz. Bitartean, CO₂ aire-fluxuak bigarren mailako atxikimendua eragozten du ebaketa-eremuan hautsa sakabanatzen duelako. CO₂ gehitzeak ingurune azido samarra sortzen du, ioi metalikoen prezipitazioa eragozten duena, disolbatuta mantenduz eta ur-fluxuak eramatea ahalbidetuz. Gainera, CO₂ gas geldoa denez, silizio-hautsaren eta oxigenoaren arteko kontaktua murrizten du, hautsaren oxidazioa eta aglomerazioa saihestuz eta ebaketa-ingurunearen garbitasuna areagotuz.

Semicorex-ek kalitate handia eskaintzen duobleakgure bezero estimatuentzat. Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com