CVD SiC estalitako susceptoreek obleen euskarri espezializatu gisa funtzionatzen dute Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) prozesuetan, erdieroaleen fabrikazioan zeregin erabakigarria betetzen dutenak. Osagai hauek ezinbestekoak dira obleen egitura-osotasuna mantentzeko epitaxia zehar mut......
Irakurri gehiagoHomoepitaxiak eta heteroepitaxiak funtsezko eginkizunak betetzen dituzte materialen zientzian. Homoepitaxia material bereko substratu baten gainean geruza kristalino bat haztea dakar, sarearen parekatze perfektuaren ondorioz gutxieneko akatsak bermatuz. Aitzitik, heteroepitaxiak geruza kristalino ba......
Irakurri gehiago