Hasiera > Produktuak > Silizio-karburoa estalita > ICP Etching Eramailea > Induktiboki Akoplatutako Plasma (ICP)
Induktiboki Akoplatutako Plasma (ICP)

Induktiboki Akoplatutako Plasma (ICP)

Semicorex-en silizio-karburoz estalitako suszeptorea Induktiboki Akoplatutako Plasmarako (ICP) bereziki diseinatuta dago tenperatura altuko obleak manipulatzeko prozesuetarako, hala nola epitaxia eta MOCVD. 1600 °C-rainoko oxidazio-erresistentzia egonkorra eta altuarekin, gure garraiolariek profil termikoak, gas-fluxu laminarraren ereduak bermatzen dituzte eta kutsadura edo ezpurutasunen hedapena ekiditen dute.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Tenperatura altuko ingurune kimiko gogorrak maneiatu ditzakeen ostia-eramaile bat behar duzu? Ez begiratu gehiago Semicorex-en silizio-karburoz estalitako suszeptorea Induktiboki Akoplatutako Plasmarako (ICP). Gure eramaileek SiC kristalezko estaldura fina dute, beroarekiko erresistentzia handiagoa, baita uniformetasun termikoa ere eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen duena.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur Induktiboki Akoplatutako Plasmarako (ICP) SiC susceptoreari buruz gehiago jakiteko.


Induktiboki Akoplatutako Plasmaren (ICP) suszeptorearen parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak

SiC-CVD propietateak

Kristalezko Egitura

FCC β fasea

Dentsitatea

g/cm³

3.21

Gogortasuna

Vickers gogortasuna

2500

alearen tamaina

μm

2~10

Garbitasun kimikoa

%

99.99995

Bero Ahalmena

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimazio-tenperatura

2700

Indar felesural

MPa (RT 4 puntu)

415

Gaztearen modulua

Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)

430

Hedapen termikoa (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Eroankortasun termikoa

(W/mK)

300


Indukziozko Akoplazio Plasmarako (ICP) silizio-karburoaren estalitako suszeptorearen ezaugarriak

- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan

Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan

Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.

Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.

Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.

- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena

- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea

- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea





Hot Tags: Induktiboki Akoplatutako Plasma (ICP), Txina, Fabrikatzaileak, Hornitzaileak, Fabrika, Pertsonalizatua, Solana, Aurreratua, Iraunkorra

Lotutako Kategoria

Bidali kontsulta

Mesedez, eman lasai zure kontsulta beheko formularioan. 24 ordutan erantzungo dizugu.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept