SiC estalitako ICP Etching Eramailea

Semicorex SiC estalitako ICP Etching Carrier Txinan bero eta korrosioarekiko erresistentzia handiko epitaxia ekipoetarako bereziki diseinatua. Gure produktuek prezio abantaila ona dute eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen dituzte. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Epitaxia edo MOCVD bezalako film meheen jalkitze-faseetan edo obleen manipulazio-prozesamenduak, hala nola grabatua, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorra jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko SiC estalitako ICP Etching Carrier-ek bero-erresistentzia handiagoa eskaintzen du, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea lortzeko, eta erresistentzia kimiko iraunkorra. SiC kristal fineko estaldurak gainazal garbi eta leuna eskaintzen du, maneiatzeko ezinbestekoa den obleak suszeptorearekin harremanetan jartzen baitira eremu osoan zehar.

Gure SiC estalitako ICP Etching Carrier gas-fluxu laminar eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.

Jar zaitez gurekin harremanetan gaur SiC Coated ICP Etching Carrier-i buruz gehiago jakiteko.

SiC Coated ICP Etching Carrier-en parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristalezko Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300