Semicorex-en ICP Plasma Etching Tray tenperatura altuko obleak manipulatzeko prozesuetarako bereziki diseinatuta dago, hala nola epitaxia eta MOCVD. 1600 °C arteko tenperatura altuko oxidazio-erresistentzia egonkorrarekin, gure eramaileek profil termikoak, gas-fluxu-eredu laminarrak eskaintzen dituzte eta kutsadura edo ezpurutasunen hedapena ekiditen dute.
Gure ICP plasma grabatzeko erretilua CVD metodoa erabiliz estalitako silizio karburoa da, hau da, tenperatura altuko eta garbiketa kimiko gogorra behar duten obleak manipulatzeko prozesuetarako. Semicorex-en eramaileek SiC kristalezko estaldura fin bat dute, profil termikoak, gas-fluxu-eredu laminarrak eskaintzen dituena eta kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten duena.
Semicorex-en, gure bezeroei kalitate handiko eta errentagarriak diren produktuak eskaintzera bideratzen gara. Gure ICP plasma grabatzeko erretiluak prezio abantaila bat du eta Europako eta Amerikako merkatu askotan esportatzen da. Zure epe luzerako bazkide izatea dugu helburu, kalitatezko produktu koherenteak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure ICP Plasma Grabatzeko Erretiluari buruz gehiago jakiteko.
ICP Plasma Etching Bandearen parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
ICP Plasma Etching Erretiluaren ezaugarriak
- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-ra arteko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea