ICP Plasma grabatzeko sistema

ICP Plasma grabatzeko sistema

Semicorex-en SiC estalitako eramailea ICP Plasma Etching System-rako soluzio fidagarria eta errentagarria da tenperatura altuko obleak manipulatzeko prozesuetarako, hala nola epitaxia eta MOCVD. Gure eramaileek SiC kristalezko estaldura fina dute, beroarekiko erresistentzia handiagoa, baita uniformetasun termikoa ere eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen duena.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Lortu kalitate goreneko epitaxia eta MOCVD prozesuak Semicorex-en SiC Coated garraiatzailearekin ICP Plasma Etching System-erako. Gure produktua prozesu horietarako bereziki diseinatuta dago, beroari eta korrosioari erresistentzia handiagoa eskainiz. Gure SiC kristalezko estaldura finak gainazal garbi eta leuna eskaintzen du, obleak hobeto maneiatzeko aukera ematen du.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur ICP Plasma Etching System-erako gure SiC estalitako eramaileari buruz gehiago jakiteko.


SiC estalitako euskarriaren parametroak ICP Plasma Etching System-erako

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak

SiC-CVD propietateak

Kristalezko Egitura

FCC β fasea

Dentsitatea

g/cm³

3.21

Gogortasuna

Vickers gogortasuna

2500

alearen tamaina

μm

2~10

Garbitasun kimikoa

%

99.99995

Bero Ahalmena

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimazio-tenperatura

2700

Indar felesural

MPa (RT 4 puntu)

415

Gaztearen modulua

Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)

430

Hedapen termikoa (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Eroankortasun termikoa

(W/mK)

300


SiC estalitako eramailearen ezaugarriak ICP Plasma Grabaketa Sistemarako

- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan

Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan

Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.

Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.

Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.

- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena

- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea

- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea





Hot Tags: ICP Plasma Grabatzeko Sistema, Txina, Fabrikatzaileak, Hornitzaileak, Fabrika, Pertsonalizatua, Solana, Aurreratua, Iraunkorra

Lotutako Kategoria

Bidali kontsulta

Mesedez, eman lasai zure kontsulta beheko formularioan. 24 ordutan erantzungo dizugu.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept