Ganbera labe horizontala SIC itsasontziak

SicoRex Ganbera horizontal horizontala Labea SIC itsasontziak oso ingeniaritzako zati bat da, ogiak edo substratuak daraman eta tenperatura altuko prozesamendu termikoa jasaten duten bitartean. Wafer itsasontzia garbitasun handiko SIC lotuta dago Silizio karburoa (sic), indarra, egonkortasun termikoa eta erresistentzia kimiko altuko erresistentzia berezia eskaintzen duena, erdieroale, fotovoltaiko eta zeramika prozesu aurreratuetan eskatzen dutenak. Ogitarien txalupak, gainera, ogiak posizioan, dimentsioaren egonkortasuna lortzeko egitura zurrun gisa jokatzen du, dimentsioaren egonkortasuna eta ogien zehaztasuna ez da galduko prozesuaren tenperatura muturrekoekiko esposizio hedatua.

Silicon Carbide-ren goi mailako propietateek ganbera labe horizontala eskaintzen dute Sic Boats-ek errendimendu handiko abantaila, kuartzo edo alumina bezalako material tipikoekin alderatuta. Iraunkortasun handiko eta hozte zikloak jasan ditzakete urtze termikoaren erresistentzia eta indar mekanikoa direla eta, beren urtze termikoko erresistentzia eta indar mekanikoa direla eta. Labe horizontal bat, wafers-en posizioen koherentzia eta prozesuen baldintzen esposizioan oinarritzen baita, ogiak lerrokatzeak prozesuaren etekin koherentea eta errepikagarritasuna eskaintzen ditu. Hedapen termikoaren koefiziente baxuak esan nahi du itsasontziak ez duela bere bizitzan desitxuratuko eta ogitartekoen forma eta tartea emango ditu.

SIC birrristalizatuaren egitura finak, oxidazio, korrosio eta kutsadurarekiko erresistentzia nabarmenak eskaintzen ditu prozesuen gasen eta azpiproduktuen arabera. Horrek itsasontzia bereziki abantaila bihurtzen du atmosfera oldarkorretan, hala nola, difusioa, oxidazioa, lpcvd eta barneratzea. SICren inertasun kimiko altuak erreakzioak saihesten ditu ogitartekoen gainazalekin, horrela, produktuaren garbitasuna zaintzea eta labean partikularen sorrera minimizatzea. SIC itsasontziek garbitasun zorrotza eskatzeko behar duten fabrikatzaileei lagun diezaieke, prozesatzeko ingurune garbiagoak eta wafer kalitatea hobetuz.

Itsasontzi hauek geometria konplexuak eta zati berariazko dimentsioekin ekoitzi daitezke doitasun mekanizazioarekin eta eratzeko teknikekin. Diseinuek, oro har, zirrikitu paralelo anitz erabiltzen dituzte, ogiak modu seguruan orientazio horizontalean edukitzeko eta modu uniformean azalera osoa baldintza termikoetara botatzeko. Slot-to-slot tartea eta angeluak ere optimizatu daitezke beste diametro batzuetako ogiak egokitzeko, hala nola, 150 mm, 200 mm edo 300 mm-koa eta zuzeneko aire-fluxua prozesatzeko efektuak prozesatzeko garaian.

Ganbera labe horizontalak SIC itsasontziak ez ezik, irteera estandarretan diseinatu daitezke, baina wafer kargatzaile automatikoekin lan egiteko diseinatuta egon daitezke, eta ondorioz integratu gabeko produkzio-lerro modernoetan integratu daiteke. Diseinu sendoak itsasontziak ere gutxiagotuko ditu manipulazioan zehar txip edo apurtzeko eta ordezkoak murrizteko eta kostuak murrizteko.

Eroankortasun termikoaSilikonaren karburoaWafersen eta labe ingurunearen arteko bero transferentzia eraginkorra errazten duen beste funtsezko abantaila da. Abantaila da fabrikatzaileek prozesatzeko baldintza uniformeagoak lortzeko eta zikloaren denborak laburtu ahal izateko, produkzioaren eraginkortasuna areagotzeko gai direla. SIC itsasontziek emaitza koherenteak eta errepikatuak eskaintzen dituzte Wafer Fabrikazio erdieroaleetarako, eguzki zelulen fabrikaziorako edo tenperatura altuko beste material aurreratuetarako erabiltzen diren.

Laburbilduz, Ganbera Labe horizontala SIC itsasontziak funtsezko osagaiak dira fabrikatzaileek errendimendu handiko, iraunkortasun handiko eta kutsadurarekiko erresistenteak dituzten ogitartekoak dituzten fabrikatzaileentzat. Indar mekanikoa, egonkortasun termikoa eta inertasun kimikoa ditu labe horizontalen aplikazioetan. Silizio karburo itsasontziak aukeratuz, operadoreek prozesuaren kontrol hobea, errendimendu altuagoak eta mantentze-lanak direla eta, etenaldi-etenak gutxitu ditzakete. Orokorrean, ekoizpen eraginkorragoak, kostu eraginkorragoak eskaintzen ditu.