Erdieroaleen fabrikazioari dagokionez, Semicorex Tenperatura Altuko SiC-Coated Barrel Susceptor errendimendu eta fidagarritasun handiagoa lortzeko aukerarik onena da. Bere kalitate handiko SiC estaldurak eta aparteko eroankortasun termikoa ezin hobea da tenperatura altuko eta ingurune korrosiborik zorrotzenetan erabiltzeko.
Semicorex Tenperatura Altuko SiC estalitako Barril Susceptor aukera ezin hobea da kristal bakarreko hazkuntzarako eta bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia behar duten erdieroaleak fabrikatzeko beste aplikazioetarako. Bere siliziozko karburozko estaldurak babes eta beroa banatzeko propietate bikainak eskaintzen ditu, errendimendu fidagarria eta koherentea bermatuz ingurune zailenetan ere.
Semicorex-en, kalitate handiko eta errentagarria den tenperatura altuko SiC estalitako upel suszeptorea eskaintzera bideratzen gara, bezeroaren gogobetetasuna lehenesten dugu eta irtenbide errentagarriak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
Tenperatura handiko SiC estalitako Barril Susceptor-aren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Tenperatura handiko SiC estalitako Barril Susceptor-en ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.