SiC estalitako upel iraunkorra LPErako

Bere dentsitate eta eroankortasun termiko bikainarekin, Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor LPErako aukera ezin hobea da LPE prozesuetan eta erdieroaleen fabrikazioko beste aplikazio batzuetan erabiltzeko. Bere purutasun handiko SiC estaldurak babes eta bero banaketarako propietate bikainak eskaintzen ditu, emaitza fidagarriak eta koherenteak lortzeko.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Kalitate handiko grafito susceptor bat behar baduzu, beroa eta korrosioarekiko erresistentzia handia duena, ez begiratu gehiago Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor LPErako. Bere siliziozko karburozko estaldurak eroankortasun termikoa eta bero banaketa bikainak eskaintzen ditu, tenperatura altuko ingurune zorrotzenetan ere errendimendu fidagarria eta koherentea bermatuz.

Gure LPErako SiC estalitako upel iraunkorra gas fluxu laminarraren eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.

Jar zaitez gurekin harremanetan gaur LPErako gure SiC estalitako upel iraunkorrari buruz gehiago jakiteko.

LPErako SiC Estalitako Barril Susceptor Iraunkorraren parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristalezko Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

LPErako SiC estalitako Barril Susceptor Iraunkorraren ezaugarriak

- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.

- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.

- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.

- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.

- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.