Erdieroaleen prozesamendurako Semicorex fokatze-eraztun iraunkorrak erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen diren plasma-grabazio-ganberen muturreko inguruneak jasateko diseinatuta daude. Gure foku-eraztunak purutasun handiko grafitoz eginda daude, higadura-erresistentea den silizio-karburozko estaldura trinko batez estalita. SiC estaldurak korrosioarekiko eta beroarekiko erresistentzia handiko propietateak ditu, baita eroankortasun termiko bikaina ere. SiC geruza meheetan aplikatzen dugu grafitoan lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesua erabiliz, gure foku-eraztunen iraupena hobetzeko.
Erdieroaleen prozesatzeko gure foku-eraztun iraunkorrak obleen ertzaren edo perimetroaren inguruan grabatu uniformetasuna hobetzeko diseinatuta daude, kutsadura eta programatu gabeko mantentze-lanak minimizatzeko. Oso egonkorrak dira recozimendu termiko azkarra (RTA), prozesatze termiko azkarra (RTP) eta garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Semicorex-en erdieroaleen prozesamendurako kalitate handiko eta errentagarrizko foku-eraztun iraunkorrak eskaintzera bideratzen gara, bezeroaren gogobetetasuna lehenesten dugu eta irtenbide errentagarriak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur erdieroaleen prozesatzeko gure foku-eraztun iraunkorrei buruz gehiago jakiteko.
Erdieroaleen prozesamendurako fokatze-eraztun iraunkorren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Erdieroaleen prozesamendurako fokatze-eraztun iraunkorren ezaugarriak
● Garbitasun handiko grafitoa eta SiC estaldura estenopeikoen erresistentzia eta bizitza iraupen handiagoa lortzeko.
● Bai grafitozko substratuak bai SiC geruzak eroankortasun termiko handia eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
● SiC estaldura geruza meheetan aplikatzen da zerbitzu-bizitza hobetzeko.