Barril Susceptor Silizio-karburoa estalitako grafitoa

Semicorex Barrel Susceptor Silizio-karburo estalitako grafitoa epitaxia-prozesuan erabiltzeko diseinatutako osagai espezializatua da, bereziki obleak eramateko. Barril Susceptor Silizio Karburo Estalitako Grafito hau grafitozko materialarekin egina dago, tenperatura altuetan duen eroankortasun termiko bikainagatik eta egonkortasunagatik ezaguna dena. Bere errendimendua eta iraunkortasuna hobetzeko, grafitoaren gainazala silizio karburozko (SiC) geruza batez estalita dago.

Barrel Susceptor Silizio Karburo Estalitako Grafitoaren silizio-karburoaren estaldurak hainbat helburu erabakigarri ditu testuinguru honetan. Lehenik eta behin, babes-geruza gehigarri bat ematen dio azpiko grafito-substratuari, epitaxia prozesuan gerta daitezkeen erreakzio kimikoetatik eta higaduratik babesten du. Bigarrenik, SiC estaldurak Barril Susceptor Silizio Karburo Estalitako Grafitoaren propietate termikoak hobetzen ditu, obleen beroketa eraginkor eta uniformea ​​ahalbidetuz. Beroketa uniforme hori ezinbestekoa da oblei erdieroaleetan geruza epitaxial koherenteak eta kalitate handikoak lortzeko.

Barrel Susceptor Silizio Karburo Estalitako Grafitoaren diseinua optimizatuta dago ostia ugari modu seguruan eusteko eta garraiatzeko epitaxia prozesu osoan zehar. Bere kanoi-itxurako egiturak obleak erraz kargatu eta deskargatzeko aukera ematen du, funtzionamenduan zehar beroaren banaketa egokia eta egonkortasun termikoa bermatuz.

Oro har, Barril Susceptor Silizio Karburo Estalitako Grafitoa osagai kritikoa da epitaxia ekipoetan, fidagarritasuna, iraunkortasuna eta kontrol termiko zehatza ezinbestekoak eskaintzen dituena gailu erdieroale aurreratuak ekoizteko.