Tenperatura altuko eta korrosiboen ingurune zorrotzenetan ere fidagarri eta koherentean funtziona dezakeen grafito susceptor bat behar baduzu, fase likidoko epitaxiarako Semicorex Barrel Susceptor aukera ezin hobea da. Bere siliziozko karburozko estaldurak eroankortasun termiko eta bero banaketa bikainak eskaintzen ditu, erdieroaleen fabrikazio aplikazioetan errendimendu aparta bermatuz.
Semicorex Barrel Susceptor fase likidoaren epitaxiarako aukera egokia da bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia behar duten erdieroaleen fabrikazio aplikazioetarako. Bere purutasun handiko SiC estaldurak eta aparteko eroankortasun termikoek babes eta beroa banatzeko propietate bikainak eskaintzen dituzte, errendimendu fidagarria eta koherentea bermatuz ingurune zailenetan ere.
Fase Likidoaren Epitaxiarako Barril Susceptor gas-fluxu laminar eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur Fase Likidoaren Epitaxirako Barril Susceptor-ari buruz gehiago jakiteko.
Fase Likidoaren Epitaxirako Barril Susceptor-en parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Barrel Susceptor-en ezaugarriak fase likidoaren epitaxiarako
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.