Bere eroankortasun termiko eta bero banaketaren propietate apartekoekin, Semicorex Barrel Structure for Semicorex Epitaxial Reactor aukera ezin hobea da LPE prozesuetan eta erdieroaleen fabrikazioko beste aplikazioetan erabiltzeko. Bere purutasun handiko SiC estaldurak babes handiagoa eskaintzen du tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan.
Erdieroaleen Epitaxial Erreaktorerako Semicorex Barrel Structure errendimendu handiko grafito suszeptoreen aplikazioetarako aukera egokia da, bero eta korrosioarekiko erresistentzia paregabea behar dutenak. Bere purutasun handiko SiC estaldurak eta dentsitate eta eroankortasun termiko handiagoak babes eta bero banaketa propietate bikainak eskaintzen dituzte, eta errendimendu fidagarria eta koherentea bermatzen dute ingurune zailenetan ere.
Erdieroaleen Epitaxial Erreaktorerako Gure Barril Egitura gas-fluxu laminar eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure kanoi-egiturari buruz gehiago jakiteko Erreaktore Epitaxial Erdieroalerako.
Erreaktore Epitaxial Erdieroalearen Barril Egituraren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Erreaktore Epitaxial Erdieroalearen Barril Egituraren ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.