Aluminiozko nitruro berogailuak

Aluminiozko nitruro erdibideko berogailuak arte-berogailuaren berogailuak dira, eroankortasun termiko altua, isolamendu elektrikoa eta aparteko iraunkortasuna eskatzen dituzten aplikazioetarako diseinatutako elementuak. Aluminiozko nitruro zeramikaz diseinatua, berogailu horiek berogailu azkarra eta uniformea ​​eskaintzen dute, doitasun handiko inguruneetarako aproposa bihurtzea, esaterako, erdieroaleen tramitazioa, diagnostiko medikoa eta instrumentazio analitiko aurreratua.

Aluminiozko nitruro berogailuak funtsezko osagaiak dira erdieroaleen film meheen gordailu ekipamenduetan. Prozesuaren ganbera eta zuzeneko kontaktuan aplikatzen dira zuzenean. Oihala ez ezik, nahiz eta, gainera, ogiak lortzen ziurtatu 

prozesuaren tenperatura egonkorra eta uniformea. Ezaugarri hau ezinbestekoa da zehaztasun handiko erreakzioetarako obra gainazalean eta film mehe uniformeak sortzea.

Normalean, aluminiozko nitruro berogailuak zeramikazko substratua biltzen du, gainazaleko kargatzeko azalera eta bizkarrean onartzen duen laguntza zilindrikoko gorputza. Berokuntza erresistente batez, RF elektrodo bat eta Chuck elektrodo elektrostatikoa eta beste eroale elektrostatikoak ere badira zeramikazko substratuaren gainazalean.

Film meheen gordailu ekipoak normalean zeramikazko materialak erabiltzen dituAluminio Nitride (ALN)tenperatura handiko ingurunea dakar. Aluminioaren nitruro berogailuek semiconductor fabrikazioaren alde egiten duten arrazoia da batez ere propietate fisiko eta kimiko bereziak direla eta. Aluminiozko nitrideak eroankortasun termiko handia du eta berogailu azkarra eta hozte azkarra lor dezake denbora gutxian, baina isolamendu elektriko ona eta indar mekanikoa ere baditu, berogailuaren egonkortasuna eta fidagarritasuna bermatuz. Horrez gain, aluminio nitruroaren hedapen termikoaren koefizientea silizioaren antzekoa da, eta horrek estres termikoaren eragina murrizten laguntzen du obra gainean eta prozesuaren errendimendua hobetzeko.

Orokorrean,berogailu zeramikoakfilm meheen gordailu ekipoetan erabiltzen dira batez ere. Tenperatura handiko prozesuak dakartzalako, erabilitako zeramikazko materiala aluminio nitride da batez ere; Chucks elektrostatikoak batez ere grabatzeko ekipoetan erabiltzen dira eta erabilitako zeramikazko materiala batez ere aluminiozko oxidoa da. Teknologia erdieroaleen garapenarekin, zeramikazko berogailuak eta chuck elektrostatikoen arteko gainjartzea dago. Adibidez, film meheen metorako ekipamenduetan erabiltzen diren berogailu zeramikoak chuck elektrostatikoekin hornituta daude, tenperatura handiko berogailuaren eta adsortzio elektrostatikoaren funtzio bikoitzak dituztenak. Ekipamendu elektrostatikoak ekipoetan erabilitako tenperatura altuko prozesuak ere izaten dira eta zeramikazko materiala aluminiozko oxido batetik aldatu behar da aluminiozko oxido batetik.