Aluminio Nitrurozko Mandril Elektrostatikoak

Aluminio Nitrurozko Chuck elektrostatikoek indar elektrostatikoak erabiltzen dituzte obleak modu seguruan eusteko erdieroaleen fabrikazio prozesu ezberdinetan. Metodo honek besarkada mekanikoen edo hutseko sistemaren beharra ezabatzen du, ostia delikatuetan partikulak sortzeko arriskua eta tentsio mekanikoa murrizten du. Aluminio Nitrurozko Chucks elektrostatikoen abantail nagusietako bat obleen gainazal osoan indar elektrostatiko oso uniforme eta egonkorra sortzeko gaitasuna da. Honek kontaktu koherentea bermatzen du eta obleak irristatzea edo deformazioa saihesten du prozesatzeko garaian, eta gordailatutako filmetan, grabatutako ezaugarrietan eta beste parametro kritikoetan uniformetasuna hobetzen du. Tentsio-indar uniforme honek obleen distortsioa murrizten du, gailuaren errendimendua eta etekina hobetzen ditu.

Bere propietate termikoei dagokienez, Aluminio Nitruro Elektrostatic Chucks-en eroankortasun termiko handiak tenperatura altuko prozesuetan beroa eraginkorra xahutzea ahalbidetzen du, estres termikoa saihestuz eta oblean zehar tenperatura banaketa uniformea ​​bermatuz. Hau funtsezkoa da prozesaketa termiko azkarra eta plasma grabaketa bezalako aplikazioetan, non berogailu lokalizatuak gailuaren errendimenduan eragin negatiboa izan dezakeen. Gainera, erdieroaleak fabrikatzeko prozesuak tenperatura-trantsizio azkarrak izaten ditu askotan. Aluminio Nitrurozko Chucks Elektrostatikoen erresistentzia termikoen erresistentzia handia ahalbidetzen du bat-bateko tenperatura-aldaketa hauek degradatu edo pitzatu gabe jasateko, eta erabilera hedatu baino gehiago iraupena eta errendimendu fidagarria bermatuz. Are gehiago, AlN-k siliziozko obleenarekin bat datorren hedapen termikoaren koefizientea (CTE) dauka. Bateragarritasun honek oblea-chuck interfazean eragindako tentsioa murrizten du ziklo termikoan zehar, obleen arkua, distortsioa eta gailuaren errendimenduan eta errendimenduan eragina izan dezaketen akats potentzialak saihestuz.

AlN mekanikoki sendoa den materiala da, malgutasun-erresistentzia eta haustura-gogotasun handikoak. Berezko indar horri esker, Aluminio Nitrurozko Chucks elektrostatikoek bolumen handiko fabrikazioan aurkitzen diren tentsio mekanikoak jasaten dituzte, errendimendu koherentea eta funtzionamendu-bizitza luzatuz. Bestalde, AlN-k erresistentzia bikaina erakusten du erdieroaleen prozesamenduan erabili ohi diren produktu kimiko eta plasma sorta zabalarekiko. Oxidazio-erresistentzia handiagoa ere erakusten du tenperatura altuetan ere, aluminiozko nitrurozko Chucks elektrostatikoen gainazalak bere bizitza osoan zehar garbi eta kutsakorra izaten jarraitzen duela bermatuz.

Semicorex Aluminio Nitrurozko Mandril Elektrostatikoak hainbat tamaina eta lodieratan daude eskuragarri obleen diametro eta prozesuen eskakizun desberdinetara egokitzeko. Egokigarritasun horrek erdieroaleen fabrikazio-aplikazio askotarako egokiak bihurtzen ditu, ikerketa eta garapenetik hasi eta bolumen handiko ekoizpenera.