Aluminio Nitruroa Zeramikazko Chuck

Aluminio Nitruro Zeramikazko Chuck-ek obleak erdieroaleen prozesatzeko puntako irtenbidea da, fabrikazioko hainbat fasetan obleak segurtasunez eusteko bereziki diseinatua. Chuck elektrostatiko (ESC) gisa funtzionatzen du, gailu berritzaile honek Aluminio Nitruro zeramikaren aparteko propietateak baliatzen ditu obleen atxikipen zehatza eta fidagarria bermatzeko.

Semicorex Aluminio Nitruro Zeramikazko Chuck-ek indar elektrostatikoak erabiltzen ditu ostia bere gainazalean irmoki eusteko. Hau tentsio altuko elektrodo integralak dituen plaka baten bidez lortzen da. Ondorioz, euste-indar elektrostatikoa ezartzen da plakaren eta oblearen artean, oblea modu eraginkorrean inmobilizatuz prozesatzeko faseetan zehar.

Aluminio Nitruro Zeramikazko Chuck-en ezaugarri nabarmenetako bat eroankortasun termiko handiko eta isolamendu propietateen konbinazio nabarmena da. Ezaugarrien nahasketa berezi honek ESC aplikazioetarako material aukera ezin hobea da. Eroankortasun termiko altuak beroaren xahupen eraginkorra bermatzen du, prozesatzen zehar oblean zehar tenperatura banaketa uniformea ​​mantentzeko ezinbestekoa. Aldi berean, bere isolamendu-ezaugarri bereziek isolamendu elektrikoa eskaintzen dute chuck eta waferaren artean, interferentzia elektrikoen arriskua edo osagai erdieroale sentikorrak kaltetzeko arriskua gutxituz.

Aluminio Nitruro Zeramikazko Chuck-ek hainbat abantaila eskaintzen ditu Chuck material tradizionalen aurrean. Bere eraikuntza sendoak epe luzerako iraunkortasuna bermatzen du, erdieroaleen fabrikazio inguruneen eskakizun zorrotzei aurre egiteko gai dena. Gainera, tenperatura altuko prozesuekin duen bateragarritasuna eta hedapen termikoaren erresistentzia ezinbesteko tresna bihurtzen dute obleak prozesatzeko emaitza koherenteak eta kalitatezkoak lortzeko.