Aln berogailuak

Erdieroaleentzako Aln berogailuak erdieroaleak berotzeko materialak berotzeko erabiltzen den gailua da. Batez ere egina daAluminio nitruro zeramikazkoaMaterialak, eroankortasun termiko bikaina eta tenperatura altuko erresistentzia du eta tenperatura altuetan funtziona dezake. Berogailuak normalean erresistentzia alanbre bat erabiltzen du berogailu elementu gisa. Erresistentziaren alanbrea berotzeko, berogailua berogailuaren azalera transferitzen da, erdieroalearen materiala berotzeko. Erdieroaleentzako Aln berogailuak paper garrantzitsua du erdieroaleen ekoizpen prozesuan eta kristal hazkuntza, barneratzea eta gozogintza bezalako prozesuetan erabil daiteke.

Fabrikazioaren aurreko prozesuan (FEOL) prozesuan hainbat tratamendu egin behar dira obran, batez ere ogia tenperatura jakin batera berotzeko, eta baldintza zorrotzak daude, tenperaturaren uniformetasunak oso eragin handia du produktuaren errendimenduan; Aldi berean, ekipamendu erdieroaleek hutsean, plasmak eta gas kimikoak existitzen diren ingurune batean ere lan egin behar dute, zeramikazko berogailuak (berogailu zeramikazkoa) erabiltzea eskatzen duena. Zeramikazko berogailuak erdieroaleen filmak gordetzeko ekipoen osagai garrantzitsuak dira. Prozesuaren ganberan erabiltzen dira eta zuzenean jartzen dira Wafer-ekin zuzenean, prozesuaren tenperatura egonkorra eta uniformea ​​lortzeko eta erreakzionatzeko eta film meheak zehaztasun handiz egoteko eta film meheak sortzeko.

Zeramikazko berogailuentzako film meheak zeramikazko materialak erabiltzen dituAluminio Nitride (ALN)Parte hartzen duten tenperatura altuak direla eta. Aluminiozko nitruroak isolamendu elektrikoa eta eroankortasun termiko bikaina ditu; Gainera, hedapen termikoko koefizientea silizioarengandik gertu dago eta plasma erresistentzia bikaina du, oso egokia da gailu erdieroalearen osagai gisa erabiltzeko.

ALN berogailuak ogi zeramikazko base bat da, eta bizkarrean onartzen duen euskarri zilindrikoko gorputza da. Barruan edo zeramikazko oinarriaren gainazalean, erresistentzia elementu batez (berotzeko geruza) berotzeko, RF elektrodo bat (RF geruza) ere badago. Berokuntza eta hozte azkarra lortzeko, zeramikaren oinarriaren lodiera mehea izan behar da, baina meheak ere zurruntasuna murriztuko du. ALN berogailuaren laguntza-organoa orokorrean oinarrizko hedapen koefiziente bat duen material batez osatuta dago, beraz, laguntza-organoa ere aluminio nitridez eginda dago. ALN berogailuak ardatz baten egitura berezia (ardatza) junturako behean hartzen du, terminalak eta hariak plasma eta gas kimiko korrosiboen eraginetatik babesteko. Bero-transferentzia gasaren sarrera eta irteera-hodia onartzen da berogailuaren tenperatura uniformea ​​bermatzeko. Oinarria eta laguntza-organoa lotura-geruza batekin lotuta daude.

Erresistentzia berotzeko elementua berogailuaren oinarrian lurperatuta dago. Patrial bidez eratzen da pasta eroalearekin (tungstenoa, molibdenoa edo tantaluma) zirkulu zirkulu zirkulu eredua edo kontzentrikoa eratzeko. Jakina, alanbre metalikoa, metalezko metala, metalezko papera eta abar ere erabil daitezke. Pantailaren inprimatzeko metodoa erabiltzen duzunean, forma bereko bi zeramikazko plaka prestatzen dira, eta itsatsi erosoa horietako baten gainazalean aplikatzen da. Orduan, berotzeko elementu erresisteko elementua eratzea sintetuta dago, eta beste zeramikazko plaka erresistentearen elementu erresistentearekin gainjarrita dago oinarrian lurperatutako elementu erresistente bat egiteko.

Aluminiozko nitruroaren zeramikaren eroankortasun termikoari eragiten dioten faktore nagusiak sareko, oxigeno edukien, hautsaren garbitasunaren, mikroegituraren eta abarren dentsitatea dira, eta horrek aluminio nitrido zeramikaren eroankortasun termikoan eragina izango du.