MOCVD erreaktoreentzako suszeptoreak

Semicorex-en MOCVD erreaktoreentzako susceptors kalitate handiko produktuak dira erdieroaleen industrian hainbat aplikaziotarako, hala nola siliziozko karburozko geruzak eta epitaxi erdieroaleak. Gure produktua engranaje edo eraztun forman dago eskuragarri eta tenperatura altuko oxidazio erresistentzia lortzeko diseinatuta dago, 1600 °C arteko tenperaturetan egonkorra izan dadin.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

MOCVD erreaktoreetarako gure susceptorak CVD lurrun kimikoen deposizioaren bidez egiten dira, tenperatura altuko klorazio baldintzetan, purutasun handia bermatuz. Produktuaren gainazala trinkoa da, partikula finak eta gogortasun handikoak, eta korrosioarekiko erresistentea da azido, alkali, gatz eta erreaktibo organikoekiko.
MOCVD erreaktoreentzako gure susceptorak gainazal guztietan estaldura bermatzeko diseinatuta daude, zuritu saihestuz eta gas-fluxu laminarraren eredu onena lortzeko. Produktuak profil termikoaren berdintasuna bermatzen du eta prozesuan zehar kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten du, kalitate handiko emaitzak bermatuz.
Semicorex-en bezeroen gogobetetzea lehenesten dugu eta kostu eraginkorrak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.

MOCVD erreaktoreen susceptorren parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristalezko Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

MOCVDrako SiC estalitako grafito susceptoraren ezaugarriak

- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea