SiC susceptor MOCVDrako

Semicorex MOCVDrako SiC Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile liderra da. Gure produktua erdieroaleen industriaren beharrei erantzuteko bereziki diseinatuta dago obleen txiparen epitaxia geruza hazteko. Produktua MOCVD-n erdiko plaka gisa erabiltzen da, engranaje edo eraztun formako diseinuarekin. Bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta muturreko inguruneetan erabiltzeko aproposa da.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Gure SiC Susceptor MOCVDrako kalitate goreneko produktua da, eta hainbat ezaugarri nagusi dituena da. Gainazal guztietan estaldura bermatzen du, zuritzeak saihestuz, eta tenperatura altuko oxidazioarekiko erresistentzia du, egonkortasuna bermatuz 1600 °C-rainoko tenperatura altuetan ere. Produktua garbitasun handiarekin egiten da CVD lurrun-deposizio kimikoaren bidez tenperatura altuko klorazio baldintzetan. Partikula finekin gainazal trinkoa du, azido, alkali, gatz eta erreaktibo organikoen korrosioarekiko oso erresistentea da.
MOCVDrako SiC Susceptor gas-fluxu laminar eredu onena bermatzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.

MOCVDrako SiC Susceptor-en parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	μm	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J kg-1 K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gazteen Modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

MOCVDrako SiC Susceptor-en ezaugarriak

- Saihestu zuritu eta ziurtatu estaldura gainazal guztietan
Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: Egonkorra 1600 °C-ra arteko tenperatura altuetan
Garbitasun handia: CVD lurrun-jadapen kimikoen bidez egina, tenperatura altuko klorazio-baldintzetan.
Korrosioarekiko erresistentzia: gogortasun handia, gainazal trinkoa eta partikula finak.
Korrosioarekiko erresistentzia: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
- Lortu gas-fluxu laminarraren eredurik onena
- Profil termikoaren berdintasuna bermatzea
- Kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihestea