Silizio-karburoaren foku-eraztunak

Silizio karburoa foku eraztunaknormalean grabatzeko ekipoen erreakzio-ganberan instalatzen dira, obleen euskarriaren gainazalaren inguruan jarrita. Instalazio antolamendu honek ondo bete dezake oblearen ertzaren eta elektrodoaren arteko altuera-aldea, erreakzio-ganberako plasma oblearen gainazalean fokatuz, grabaketa uniformea ​​lortzeko eta, gainera, oblearen ertzetik plasmaren difusioa saihestuz, oblearen ertza gehiegi grabatzeko arazoa saihesteko.

Kalitate handiko grabatzeko osagaiek eremu elektrikoaren ingurune egonkorra eskain dezakete grabatze-prozesurako. Semicorex-en silizio-karburozko foku-eraztunak errendimendu handikoak dirasilizio karburozko materialaklurrun-deposizio kimikoaren bidez. Gure foku-eraztunak oblearen inguruko eremu elektrikoaren banaketa doitzeko gai dira, eremu elektriko irregularrek eragindako desbideraketak edo deskarga-fenomenoak nabarmen murrizteko.

Erdieroaleen obleak partikulak kutsatzeko errazak dira, beraz, plasma bidezko grabaketa-prozesuak ioi-grabatzeko erreakzio-ganbera ultra-garbietan egin behar dira. Grabaketa-ekipoaren osagai nagusia denez, silizio-karburoaren foku-eraztunak oblearen ertzarekin kontaktuan zuzenean jartzen dira benetako funtzionamenduan, garbitasun-estandar altuak betetzeko ere beharrezkoa da. Semicorex-en silizio-karburoaren foku-eraztunek garbitasun handiko eta ezpurutasun-eduki baxuaren abantailak eskaintzen dituzte, erdieroaleen grabaketa-prozesuen garbitasun-baldintza zorrotzak zehatz-mehatz bete ditzaketenak. Horrek asko laguntzen du obleen akatsak murrizten eta obleen ekoizpenaren errendimendua hobetzen du.

Plasma grabatzeko prozesuan, fluoroa eta oxigenoa bezalako akuaforte-gasak sartzen dira erreakzio-ganberan. Aguaforte-ekipoaren korrosio kimikoaren erresistentzia oso arriskuan jartzen du prozesuko gasek epe luzerako korrosioaren ondorioz. Plasmako korrosioarekiko erresistentzia propietate handiagoarekin, silizio-karburoa foku-eraztunak fabrikatzeko material aukerarik onena da. Korrosioarekin lotutako osagaien kalteak izateko aukera murriztuz eta maiz ordezkatzeko eta mantentzeko beharra gutxituz, silizio karburoko foku-eraztunek erdieroaleen obleen fabrikazioaren eraginkortasuna nabarmen handitu dezakete.