CVD-SiC Dutxa-burua

Semicorex CVD-SiC dutxa-buruak iraunkortasuna, kudeaketa termiko bikaina eta degradazio kimikoarekiko erresistentzia eskaintzen ditu, erdieroaleen industriako CVD prozesu zorrotzetarako aukera egokia bihurtuz. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

CVD dutxa-buru baten testuinguruan, CVD-SiC dutxa-burua normalean diseinatzen da CVD prozesuan zehar aitzindariak gasak uniformeki banatzeko substratuaren gainazalean. Dutxa-burua substratuaren gainean kokatu ohi da, eta gas aitzindariak bere gainazaleko zulo edo tobera txikietatik igarotzen dira.

Dutxako buruan erabiltzen den CVD-SiC materialak hainbat abantaila eskaintzen ditu. Bere eroankortasun termiko altuak CVD prozesuan sortutako beroa xahutzen laguntzen du, substratuan tenperaturaren banaketa uniformea bermatuz. Gainera, SiC-ren egonkortasun kimikoak CVD prozesuetan aurkitu ohi diren gas korrosiboak eta ingurune gogorrak jasaten ditu.

CVD-SiC dutxa-buru baten diseinua CVD sistemaren eta prozesu-baldintzen arabera alda daiteke. Hala ere, normalean plaka edo disko-formako osagai batez osatuta dago, doitasunez zulatutako zulo edo zirrikitu ugari dituena. Zuloen eredua eta geometria arretaz diseinatuta daude substratuaren gainazalean gas banaketa eta fluxu-abiadura uniformea bermatzeko.