SiC Dutxa Burua

Semicorex SiC dutxa-burua epitaxial-hazkuntza-prozesuan ezinbesteko osagaia da, berariaz diseinatuta dagoen film meheen deposizioaren uniformetasuna eta eraginkortasuna oble erdieroaleetan. SiC Dutxa Burua silizio karburo handiz (SiC) fabrikatzen da. Bere eroankortasun termiko, erresistentzia mekaniko eta erresistentzia kimikoagatik ezaguna dena, SiC dutxa-buru honek errendimendu optimoa bermatzen du tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan erreaktore epitaxialetan ohikoak diren.

SiC dutxa-buruaren forma zorrotz diseinatuta dago obleen gainazalean aitzindari gasen banaketa uniformea ​​errazteko. Zehaztasunez egindako zulo sortak fluxu kontrolatua eta koherentea ahalbidetzen du, eta hori ezinbestekoa da lodiera eta konposizio uniformeko kalitate handiko epitaxial geruza lortzeko. Diseinu honek gas faseko erreakzioak eta partikulen sorrera murrizten ditu, obleen errendimendu eta gailuen errendimendua hobetzen laguntzen du.

Ikerketarako nahiz bolumen handiko produkzio ezarpenetan erabiltzeko aproposa, SiC Dutxa Burua bere iraunkortasunagatik eta fidagarritasunagatik nabarmentzen da, mantentze-lanak eta kostu operatiboak nabarmen murrizten dituelako. Prozesu epitaxial ezberdinekin bateragarri izateak, Lurrun Kimikoen Deposizioa (CVD) barne, aktibo polifazetiko eta eskerga bihurtzen du erdieroaleen fabrikazio-industrian.