SiC estaldura suszeptorearen gaineko geruza mehe bat da, lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesuaren bidez. Silizio karburoaren materialak abantaila ugari eskaintzen ditu silizioaren aldean, besteak beste, 10 aldiz matxura eremu elektrikoaren indarra, 3 aldiz banda hutsunea, materialari tenperatura eta erresistentzia kimiko altuak, higadura erresistentzia bikaina eta eroankortasun termikoa eskaintzen dituena.
Semicorex-ek zerbitzu pertsonalizatua eskaintzen du, gehiago irauten duten osagaiekin berritzen laguntzen dizu, ziklo-denborak murrizten eta etekinak hobetzen laguntzen dizu.
SiC estaldurak hainbat abantaila berezi ditu
Tenperatura Handiko Erresistentzia: CVD SiC estalitako susceptor-ek 1600 °C arteko tenperatura altuak jasan ditzake degradazio termiko nabarmenik jasan gabe.
Erresistentzia kimikoa: siliziozko karburozko estaldurak erresistentzia bikaina eskaintzen die produktu kimiko askori, azidoei, alkaliei eta disolbatzaile organikoei barne.
Higadura-erresistentzia: SiC estaldurak higadura-erresistentzia bikaina eskaintzen dio materialari, eta higadura handia duten aplikazioetarako egokia da.
Eroankortasun termikoa: CVD SiC estaldurak eroankortasun termiko handia ematen dio materialari, bero-transferentzia eraginkorra behar duten tenperatura altuko aplikazioetan erabiltzeko egokia da.
Erresistentzia eta zurruntasun handia: siliziozko karburozko suszeptoreak erresistentzia eta zurruntasun handia ematen dio materialari, eta erresistentzia mekaniko handia behar duten aplikazioetarako egokia da.
SiC estaldura hainbat aplikaziotan erabiltzen da
LED fabrikazioa: CVD SiC estalitako susceptor LED mota ezberdinetako prozesatutako fabrikazioan erabiltzen da, LED urdina eta berdea, UV LED eta UV LED sakona barne, bere eroankortasun termiko eta erresistentzia kimiko handia dela eta.
Komunikazio mugikorra: CVD SiC estalitako susceptor HEMTren zati erabakigarria da GaN-on-SiC epitaxia-prozesua osatzeko.
Erdieroaleen prozesamendua: CVD SiC estalitako susceptor erdieroaleen industrian erabiltzen da hainbat aplikaziotarako, besteak beste, obleak prozesatzeko eta hazkunde epitaxialerako.
SiC estalitako grafito osagaiak
Silizio Karburozko Estaldurak (SiC) grafitoz egina, estaldura CVD metodo baten bidez aplikatzen da dentsitate handiko grafitoaren kalifikazio espezifikoetan, beraz, tenperatura altuko labean funtziona dezake 3000 °C baino gehiago atmosfera geldo batean, 2200 °C hutsean. .
Materialaren propietate bereziek eta masa baxuek berotze-tasa azkarrak, tenperatura banaketa uniformea eta kontrolean zehaztasun bikaina ahalbidetzen dute.
Semicorex SiC Coating-en materialaren datuak
Propietate tipikoak |
Unitateak |
Balioak |
Egitura |
|
FCC β fasea |
Orientazioa |
Zatikia (%) |
111 hobetsi |
Solteko dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Hedapen termikoa 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Ondorioa CVD SiC estalitako susceptor susceptor eta silizio karburoaren propietateak konbinatzen dituen material konposatua da. Material honek propietate bereziak ditu, tenperatura eta erresistentzia kimiko altuak barne, higadura erresistentzia bikaina, eroankortasun termiko handia eta indar eta zurruntasun handia. Propietate hauek tenperatura altuko hainbat aplikaziotarako material erakargarria bihurtzen dute, erdieroaleen prozesaketa, prozesaketa kimikoa, tratamendu termikoa, eguzki-zelulen fabrikazioa eta LED fabrikazioa barne.
Semicorex-en SiC Boat Holder SiC-tik era berritzailea da, fotovoltaiko, elektroniko eta erdieroaleen sektoreetan funtsezko eginkizunetarako egokituta. Zehaztasun handiz diseinatuta, Semicorex SiC Boat Holder-ek ingurune babesgarri eta egonkorra eskaintzen die oblei fase guztietan zehar, prozesatzeko, igarotzeko edo biltegiratzeko. Bere diseinu zorrotzak dimentsioetan eta berdintasunean zehaztasuna bermatzen du, funtsezkoa obleen deformazioa gutxitzeko eta etekin operatiboa maximizatzeko.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Guide Ring kristal bakarreko hazkuntza prozesua optimizatzeko diseinatuta dago. Bere eroankortasun termiko apartak beroaren banaketa uniformea bermatzen du, kalitate handiko kristalak sortzen laguntzen du, garbitasun eta egitura-osotasun hobearekin. Semicorex-ek merkatuan liderra den kalitatearekin duen konpromisoak, kontu fiskal lehiakorrekin batera, zure erdieroaleen obleak garraiatzeko baldintzak betetzeko lankidetzak ezartzeko gogoa sendotzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Epi-SiC Susceptor, xehetasunei arreta handiz diseinatutako osagaia, ezinbestekoa da punta-puntako erdieroaleen fabrikaziorako, batez ere aplikazio epitaxialetan. Epi-SiC Susceptor-en diseinuak, zehaztasuna eta berrikuntza barne hartzen dituena, material erdieroaleen depositu epitaxiala onartzen du obleetan, errendimenduan eraginkortasun eta fidagarritasun aparta bermatuz. Semicorex-ek merkatuan liderra den kalitatearekin duen konpromisoak, kontu fiskal lehiakorrekin batera, zure erdieroaleen obleak garraiatzeko baldintzak betetzeko lankidetzak ezartzeko gogoa sendotzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Susceptor Disca ezinbesteko tresna da lurrun kimiko organiko metalikoen deposizioan (MOCVD), geruza epitaxialaren deposizio prozesu kritikoan erdieroaleen obleak eusteko eta berotzeko bereziki diseinatua. Susceptor Disca funtsezkoa da gailu erdieroaleen fabrikazioan, non geruza zehatza haztea funtsezkoa den. Semicorex-ek merkatuan liderra den kalitatearekin duen konpromisoak, kontu fiskal lehiakorrekin batera, zure erdieroaleen obleak garraiatzeko baldintzak betetzeko lankidetzak ezartzeko gogoa sendotzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaEpitaxial bakarreko kristalezko Si plakak fintasunaren, iraunkortasunaren eta fidagarritasunaren gailurra biltzen du grafitoaren epitaxia eta obleen manipulazioari dagozkion aplikazioetarako. Bere dentsitate, planaritate eta kudeaketa termikoaren gaitasunengatik bereizten da, funtzionamendu-baldintza zorrotzetarako hautaketa optimo gisa kokatuz. Semicorex-ek merkatuan liderra den kalitatearekin duen konpromisoak, kontu fiskal lehiakorrekin batera, zure erdieroaleen obleak garraiatzeko baldintzak betetzeko lankidetzak ezartzeko gogoa sendotzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaKristal bakarreko Silizio Epi Susceptor Si-GaN epitaxia prozesuetarako diseinatutako osagai ezinbestekoa da, zehaztapen eta hobespen indibidualizatuetara egokitu daitekeena, eskakizun zehatzekin ezin hobeto egokitzen den neurrirako irtenbidea eskainiz. Dimentsioetan aldaketak edo estalduraren lodieraren doikuntzak suposatzen dituen ala ez, prozesu askotariko parametroetara egokitzen den produktu bat diseinatzeko eta entregatzeko gaitasuna dugu, eta, horrela, errendimendua optimizatzen dugu helburuko aplikazioetarako. Semicorex-ek merkatuan liderra den kalitatearekin duen konpromisoak, kontu fiskal lehiakorrekin batera, zure erdieroaleen obleak garraiatzeko baldintzak betetzeko lankidetzak ezartzeko gogoa sendotzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta