SiC estaldura suszeptorearen gaineko geruza mehe bat da, lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesuaren bidez. Silizio karburoaren materialak abantaila ugari eskaintzen ditu silizioaren aldean, besteak beste, 10 aldiz matxura eremu elektrikoaren indarra, 3 aldiz banda hutsunea, materialari tenperatura eta erresistentzia kimiko altuak, higadura erresistentzia bikaina eta eroankortasun termikoa eskaintzen dituena.
Semicorex-ek zerbitzu pertsonalizatua eskaintzen du, gehiago irauten duten osagaiekin berritzen laguntzen dizu, ziklo-denborak murrizten eta etekinak hobetzen laguntzen dizu.
SiC estaldurak hainbat abantaila berezi ditu
Tenperatura Handiko Erresistentzia: CVD SiC estalitako susceptor-ek 1600 °C arteko tenperatura altuak jasan ditzake degradazio termiko nabarmenik jasan gabe.
Erresistentzia kimikoa: siliziozko karburozko estaldurak erresistentzia bikaina eskaintzen die produktu kimiko askori, azidoei, alkaliei eta disolbatzaile organikoei barne.
Higadura-erresistentzia: SiC estaldurak higadura-erresistentzia bikaina eskaintzen dio materialari, eta higadura handia duten aplikazioetarako egokia da.
Eroankortasun termikoa: CVD SiC estaldurak eroankortasun termiko handia ematen dio materialari, bero-transferentzia eraginkorra behar duten tenperatura altuko aplikazioetan erabiltzeko egokia da.
Erresistentzia eta zurruntasun handia: siliziozko karburozko suszeptoreak erresistentzia eta zurruntasun handia ematen dio materialari, eta erresistentzia mekaniko handia behar duten aplikazioetarako egokia da.
SiC estaldura hainbat aplikaziotan erabiltzen da
LED fabrikazioa: CVD SiC estalitako susceptor LED mota ezberdinetako prozesatutako fabrikazioan erabiltzen da, LED urdina eta berdea, UV LED eta UV LED sakona barne, bere eroankortasun termiko eta erresistentzia kimiko handia dela eta.
Komunikazio mugikorra: CVD SiC estalitako susceptor HEMTren zati erabakigarria da GaN-on-SiC epitaxia-prozesua osatzeko.
Erdieroaleen prozesamendua: CVD SiC estalitako susceptor erdieroaleen industrian erabiltzen da hainbat aplikaziotarako, besteak beste, obleak prozesatzeko eta hazkunde epitaxialerako.
SiC estalitako grafito osagaiak
Silizio Karburozko Estaldurak (SiC) grafitoz egina, estaldura CVD metodo baten bidez aplikatzen da dentsitate handiko grafitoaren kalifikazio espezifikoetan, beraz, tenperatura altuko labean funtziona dezake 3000 °C baino gehiago atmosfera geldo batean, 2200 °C hutsean. .
Materialaren propietate bereziek eta masa baxuek berotze-tasa azkarrak, tenperatura banaketa uniformea eta kontrolean zehaztasun bikaina ahalbidetzen dute.
Semicorex SiC Coating-en materialaren datuak
Propietate tipikoak |
Unitateak |
Balioak |
Egitura |
|
FCC β fasea |
Orientazioa |
Zatikia (%) |
111 hobetsi |
Solteko dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Hedapen termikoa 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Ondorioa CVD SiC estalitako susceptor susceptor eta silizio karburoaren propietateak konbinatzen dituen material konposatua da. Material honek propietate bereziak ditu, tenperatura eta erresistentzia kimiko altuak barne, higadura erresistentzia bikaina, eroankortasun termiko handia eta indar eta zurruntasun handia. Propietate hauek tenperatura altuko hainbat aplikaziotarako material erakargarria bihurtzen dute, erdieroaleen prozesaketa, prozesaketa kimikoa, tratamendu termikoa, eguzki-zelulen fabrikazioa eta LED fabrikazioa barne.
Askatu erdieroaleen fabrikazioan zehaztasunaren gailurra gure CVD SiC Pancake Susceptor puntakoarekin. Disko itxurako osagai honek, erdieroaleen ekipoetarako aditua diseinatuta, funtsezko elementu gisa balio du tenperatura altuko metaketa epitaxial-prozesuetan erdieroale meheak eusteko. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaHobetu zure erdieroaleen ekipamenduaren gaitasunak eta eraginkortasuna epitaxialetarako gure erdieroaleen SiC osagai berritzaileekin. Osagai erdi-zilindriko hauek erreaktore epitaxialen sarrerako sekziorako bereziki diseinatuta daude, erdieroaleen fabrikazio-prozesuak optimizatzeko zeregin erabakigarria betetzen dutenak. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaHobetu zure erdieroaleen gailuen funtzionaltasuna eta eraginkortasuna gure punta-puntako Half Parts Drum Products Epitaxial Part-ekin. LPE erreaktorearen sarrerako osagaietarako bereziki diseinatua, osagarri erdi-zilindriko honek funtsezko zeregina du zure erdieroaleen prozesuak optimizatzeko.
Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Prozesu epitaxialeko beheko bafleetarako Semicorex bigarren erdiko piezak, zure gailu erdieroaleen errendimendua iraultzeko diseinatutako osagaiak zorrotz diseinatuta. LPE erreaktoreen harrera-sistemarako bereziki egokituta, osagarri erdi-zilindriko hauek funtsezko eginkizuna dute epitaxiaren hazkunde-prozesua hobetzeko. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSiC Epitaxial Ekipamendurako Semicorex Half Parts, erdieroaleen prozesatzeko purutasun handiko material aurreratua da. Ekipamendu erabakigarri honek funtsezko zeregina du SiC obleen epitaxiaren prozesuan. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor, erdieroaleen obleak manipulatzeko eta prozesatzeko erabiltzen den tresna espezializatua da. Suszeptoreak paper meheen, geruza epitaxialen eta beste estaldura batzuen hazkuntza errazten du tenperaturaren eta materialaren propietateen kontrol zehatza duten substratuetan. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta