Sic estalitako wafer suszeptoreak

SiceRex sic estalitako wafer sizcorderrek erdieroale aurreratuak fabrikatzeko prentsa eskakizunak betetzeko diseinatuta daude, batez ere pressierez ultrathin zinema departamenduen sistemetan. Zehaztasunak diseinatuta, errendimendu termiko altuagoa, iraunkortasun kimikoa eta egonkortasun mekanikoa eskaintzen dituzte, filmak prozesatzeko hurrengo belaunaldiko inguruneetarako ezinbestekoa da.

Presioa erabiltzen ez duten gordailu-tekniketan, geruza atomikoen gordailua (aldagaia), lurrun kimikoen gordailua (CVD) eta lurrunaren gordailu fisikoa (PVD) bezala, film oso meheetarako, baldintza nagusiak tenperatura banaketa uniformea eta gainazaleko egonkortasuna dira. Gure suszeptoreen diseinuaren berezitasuna garbitasun handiko substratu porotsua sartzea da, hutsean edo hutsean dauden baldintzetan modu eraginkorrean funtziona dezan, estres termikoa murriztuz eta energia-transferentzia uniformea eskaintzea wafer gainazalean.

Zulo anitzeko egitura berrikuntza funtsezkoa da: masa termikoa murrizten laguntzen du, gasaren fluxuaren banaketa ere sustatzen du eta, bestela, deposizio uniformetasuna arriskuan jarri dezaketen presioaren gorabeherak arintzen ditu. Egitura honek, gainera, arrapala eta cooldown ziklo termikoak azkarrago laguntzen ditu, errendimendu orokorra eta prozesuaren kontrola hobetzen ditu.

Susceptor neurri, geometria eta porositate maila ugari eskaintzen ditugu depositazio sistemaren diseinu eta wafer dimentsioekin bat etor dadin. Gure fabrikazio-prozesuaren izaera modularrak bezeroaren zinema prozesuaren termiko, mekaniko eta mekaniko eta produktu zehatzak betetzeko pertsonalizazioa ahalbidetzen du.

Sice Sic estalitako wafer siscoldor errendimendu handiko konponbidea da, pressio gabeko ultrathin zinemaren deposizioaren erronka bakarretara egokituta. Egiturazko diseinu porotsuaren eta SIC estalduraren konbinazioak doitasun handiko erdieroaleen fabrikazio prozesuetarako laguntza optimoa eskaintzen du, zinemaren kalitatea, errendimendu altuagoak eta kostu txikiagoak ahalbidetuz.