Fabrikazio profesional gisa, Erdieroaleen Osagaiak eman nahi dizkizugu. Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure silizio karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio-ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC estalitako osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza kristalak hazten diren gune beroetarako grafitozko kontsumigarrietatik (berogailuak, arragoa-jabeak, isolamendua), obleak prozesatzeko ekipoetarako doitasun handiko grafito-osagaietaraino, hala nola, silizio-karburoa estalitako grafito-jabeak Epitaxyrako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) estalitako grafitoaren eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen estalkiek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Amaierako efektua →
Amaierako efektua robotaren eskua da, eta obleak erdieroaleak mugitzen ditu obleak prozesatzeko ekipoen eta eramaileetako posizioen artean.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak garbitasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex SiC Heating Filament silizio karburoa estalitako grafitozko berogailu bat da, erdieroaleen fabrikazio aurreratuan obleak berotzeko diseinatua. Semicorex aukeratzeak prozesu termiko zorrotzenetarako purutasun handiko materialak, doitasun pertsonalizazioa eta iraupen luzeko errendimendua eskaintzen dituen bazkide fidagarri bat hautatzea esan nahi du.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex siliziozko karburozko zorroak fotolitografia ekipoetarako bereziki diseinatuta daude eta abantaila ugari dituzte, hala nola, doitasun handia, pisu ultra-arina, zurruntasun handia, hedapen termiko koefiziente baxua eta higadura erresistentzia bikaina.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Furnace Hodiak purutasun handiko silizio karburozko hodiak dira, 3D inprimatzeko teknologia aurreratuarekin fabrikatutakoak, tenperatura altuko prozesu fotovoltaikoetarako diseinatuak. Semicorex-ek punta-puntako SiC soluzioak eskaintzen ditu mundu osoko eguzki-industriak fidagarriak diren indar, egonkortasun eta fidagarritasunarekin.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Paddles purutasun handiko silizio karburozko besoa 1000 ℃-tik gorako oxidazio- eta difusio-labeetan obleak garraiatzeko diseinatuta daude. Semicorex aukeratzeak materialaren kalitate paregabea, doitasun ingeniaritza eta epe luzerako fidagarritasuna bermatzea esan nahi du erdieroaleen fabrika nagusiek fidagarriak.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Focus Ring purutasun handiko silizio karburozko eraztun osagai bat da, erdieroaleen fabrikazioan plasma banaketa eta obleen prozesu uniformetasuna optimizatzeko diseinatua. Semicorex aukeratzeak kalitate koherentea, materialen ingeniaritza aurreratua eta mundu osoko erdieroale fabrikatzaile nagusiek fidagarriak diren errendimendu fidagarria bermatzea esan nahi du.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaWherfe ertzaren ertza ehotzeko arkatzak garbitasun handiko alumina zuriz egindako zeramikazko diskoa da. ZORIONAK aukeratzeak material kalitate, doitasun ingeniaritza eta errendimendu fidagarria bermatzen ditu, wafer prozesatzeko ingurune zorrotzenak onartzen dituztenak. *
Irakurri gehiagoBidali kontsulta