Fabrikazio profesional gisa, Erdieroaleen Osagaiak eman nahi dizkizugu. Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure silizio karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio-ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC estalitako osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza kristalak hazten diren gune beroetarako grafitozko kontsumigarrietatik (berogailuak, arragoa-jabeak, isolamendua), obleak prozesatzeko ekipoetarako doitasun handiko grafito-osagaietaraino, hala nola, silizio-karburoa estalitako grafito-jabeak Epitaxyrako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) estalitako grafitoaren eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen estalkiek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Amaierako efektua →
Amaierako efektua robotaren eskua da, eta obleak erdieroaleak mugitzen ditu obleak prozesatzeko ekipoen eta eramaileetako posizioen artean.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak garbitasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex Silicon Pedestal Boat 9N purutasun handiko obleen eramailea da, tenperatura altuko oxidazio, difusio eta LPCVD prozesuetan obleen euskarri zehatz eta egonkorra izateko diseinatua. Aukeratu Semicorex materialaren garbitasun, doitasun mekanizatu eta fidagarritasun frogatua lortzeko*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Silicon Injector purutasun ultra altuko osagai tubular bat da, LPCVD polisiliziozko metaketa prozesuetan gas zehatza eta kutsadurarik gabekoa emateko diseinatua. Aukeratu Semicorex sektoreko purutasun, doitasun mekanizatu eta fidagarritasun frogatua lortzeko.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Silicon Wafer Boat tenperatura altuko labe erdieroaleetarako diseinatutako purutasun handiko eramailea da, 1200-1250 °C-tan oxidazio- eta murrizketa-prozesuetan oblei eusten diena. Semicorex-ek produktu bikainak, errendimendu ultra-garbia eta gailuaren etekina zuzenean hobetzen duten emaitza fidagarriak eskaintzen ditu.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Silicon Shield Ring purutasun handiko silizio-osagai bat da, plasma grabatzeko sistema aurreratuetarako diseinatua, babes-ezkutua eta elektrodo laguntzaile gisa balio duena. Semicorex-ek errendimendu ultra-garbia, prozesuen egonkortasuna eta grabaketa-emaitza bikainak bermatzen ditu doitasunez diseinatutako erdieroaleen osagaiekin.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Ceramic Paddle purutasun handiko cantilever osagai bat da, tenperatura altuko labe erdieroaleetarako diseinatua, batez ere oxidazio eta difusio prozesuetan erabiltzen dena. Semicorex aukeratzeak obleak manipulatzeko aplikazio kritikoetarako egonkortasun, garbitasun eta iraunkortasun paregabeak bermatzen dituzten zeramikazko soluzio aurreratuetara sarbidea izatea esan nahi du.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC estalitako Halfmoon Parts ekipamendu epitaxialaren funtsezko elementu gisa diseinatutako doitasun-ingeniaritzarako osagaiak dira, non ilargi-erdi itxurako bi atal konbinatzen diren nukleo-multzo osoa osatzeko. Semicorex aukeratzeak esan nahi du soluzio fidagarriak, purutasun handikoak eta iraunkorrak bermatzea, obleen euskarria egonkorra eta bero-eroale eraginkorra bermatzen dutenak erdieroaleen fabrikazio aurreratuan.*
Irakurri gehiagoBidali kontsulta