Pancake susceptor, erdieroaleen prozesatzeko erabiltzen den obleen forma biribila.
Epitaxia erdieroaleen prozesamenduaren urrats erabakigarria da, geruza epitaxiala hazten duen obleen erdieroaleetan, zeinetan obleak grafitoaren suszeptoreetan eramaten diren. Grafitoaren suszeptoreen ezaugarriak epi-waferen kalitatearen funtsezko eragina dira.
Grafito suszeptoreak siliziozko karburozko estaldurarekin
Semicorex-ek epitaxia-erreaktore guztien suszeptoreak eta osagaiak hornitzen ditu, barneupel suszeptoreaketa krepe suszeptoreak. Garbitasun handiko grafitoa eta CVD SiC estaldura erabiltzen ditugu.
Semicorex-ek kalitate handiko CVD SiC estalitako grafitozko krepe suszeptorea eskaintzen du. Urte asko daramatzagu grafitozko materialen fabrikatzaile eta hornitzaile. Gure CVD SiC estalitako grafitozko krepe suszeptoreak prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu gehienak estaltzen ditu. Espero dugu zure epe luzerako bazkide bihurtzea Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta