Silizio karburoko obleak: obleen zaindari ikusezinak Semiconductor-en

Erdieroaleen fabrikazioan, oxidazioak oblea tenperatura altuko ingurune batean jartzea dakar, non oxigenoa oblearen gainazalean zehar oxido geruza bat osatzeko. Honek oblea ezpurutasun kimikoetatik babesten du, ihes-korrontea zirkuituan sartzea ekiditen du, ioiak ezartzean difusioa eragozten du eta oblea labaintzea saihesten du grabatzean, oblearen gainazalean babes-film bat osatuz. Urrats honetan erabiltzen den ekipamendua oxidazio-labea da. Erreakzio-ganberaren osagai nagusiak ostia-ontzi bat, oinarria, labearen atorraren hodiak, labearen barruko hodiak eta isolamendu termikoko bafleak dira. Funtzionamendu-tenperatura altua dela eta, erreakzio-ganberaren osagaien errendimendu-eskakizunak ere handiak dira.

Ostia ontzi gisa erabiltzen da ostia garraiatzeko eta prozesatzeko. Abantaila izan behar ditu, hala nola integrazio handia, fidagarritasun handia, propietate antiestatikoak, tenperatura altuko erresistentzia, higadura erresistentzia, deformazioarekiko erresistentzia, egonkortasun ona eta bizitza luzea. Obleen oxidazio-tenperatura gutxi gorabehera 800 ℃ eta 1300 ℃ artekoa denez, eta inguruneko ezpurutasun metalikoen edukiari buruzko baldintzak oso zorrotzak direnez, obleen ontzia bezalako osagai nagusiek propietate termiko, mekaniko eta kimiko bikainak izan behar dituzte, baizik eta ezpurutasun metalikoen eduki oso baxua izan behar dute.

Substratuaren arabera, ostia-ontziak kuartzo kristalezko itsasontzi gisa sailka daitezke,silizio karburozko zeramikaostia-ontziak, etab. Hala ere, 7nm-tik beherako prozesu-nodoen aurrerapenarekin eta tenperatura altuko prozesu-leihoen hedapenarekin, kuartzozko itsasontzi tradizionalak pixkanaka eskasak dira egonkortasun termikoari, partikulen kontrolari eta bizitzaren kudeaketari dagokionez. Silizio karburoko itsasontziak (SiC itsasontziak) kuartzozko soluzio tradizionalak ordezkatzen ari dira pixkanaka.

ZergatikSilizio-karburoa?

1. Tenperatura handiko egonkortasuna

Tenperatura altuko egonkortasuna SiC itsasontzien abantailarik nabarmenena da. Ia ez dute deformaziorik edo ahultzerik erakusten tenperatura oso altuetan (> 1300 °C), obleen zirrikituen kokapen zehatza mantenduz denbora luzez.

2. Bizitza ultra-luzea

Itsasontzi bakar batek karga-ahalmen handia du, 12 hazbeteko ehunka ostia aldi berean onartzen dituena. Kuartzozko itsasontzi tradizionalekin alderatuta, SiC itsasontziek batez besteko bizitza 5-10 aldiz luzeagoa eskaintzen dute, ekipamendua aldatzeko maiztasuna eta jabetza-kostua murriztuz.

3. Azalera garbia eta kutsadura oso baxua

Materialaren garbitasun handiak eta ezpurutasun metalikoen eduki oso baxuak siliziozko obleen bigarren mailako kutsadura saihesten dute. Gainazaleko zimurtasunaren kontrol bikainak, 0,1 μm-tik beherako Ra-rekin, partikulen isurketa kentzen du eta prozesu aurreratuen garbitasun-baldintzak betetzen ditu.

4. Tenperatura ultraaltuko prozesuetarako egokia

1200 °C-tik gorako tenperaturak behar dituzten prozesuetarako (adibidez, film lodiko oxidazio prozesu espezializatu batzuk, SiC gailuen fabrikazioa edo lubaki sakonak betetzeko prozesuetarako), SiC itsasontziak ordezkaezina dira.

ren aplikazioakSiliziozko Karburoko Ontziak

Erdieroaleen Fabrikazioa

Txirbilak fabrikatzeko tenperatura altuko prozesuetan, hala nola, oxidazioan, difusioan, lurrun-deposizio kimikoan (CVD) eta ioien inplantazioan, siliziozko karburozko ontziak erabiltzen dira siliziozko obleak eusteko, tenperatura altuetan lautasuna bermatuz eta estres termikoak eragindako sarearen lerrokatze okerrak edo deformazioak saihestuz, horrela txiparen zehaztasuna eta errendimendua bermatuz.

Industria fotovoltaikoa

Silizio karburozko zeramikaErresistentzia mekaniko bikaina, egonkortasun termikoa, tenperatura altuko erresistentzia, oxidazio erresistentzia, shock termikoarekiko erresistentzia eta korrosio kimikoarekiko erresistentzia, oso erabiliak dira arlo ezagunetan, hala nola, metalurgia, makineria, energia berria eta eraikuntzako material kimikoak. Haien errendimendua nahikoa da fabrikazio fotovoltaikoko prozesu termikoetarako, hala nola difusioa, LPCVD (presio baxuko lurrun-deposizio kimikoa) eta PECVD (plasma-lurrun-deposizio kimikoa) TOPcon zeluletarako. Kuartzozko material tradizionalekin alderatuta, itsasontzien euskarriak egiteko erabiltzen diren silizio karburozko zeramikazko materialek, itsasontzi txikiek eta produktu tubulark indar handiagoa, egonkortasun termiko hobea eta tenperatura altuetan deformaziorik ez dute eskaintzen. Haien bizi-iraupena, gainera, kuartzoarena baino bost aldiz handiagoa da, eta, ondorioz, funtzionamendu-kostuak eta energia-galerak nabarmen murrizten dira mantentze-geldialdien ondorioz. Horrek kostu abantaila argia dakar eta lehengaiak oso eskuragarri daude.

Hirugarren belaunaldiko erdieroaleak

Metal-organiko-lurrun-deposizio kimikoko (MOCVD) erreakzio-ganberan, silizio-karburozko ontziak erabiltzen dira zafiro-substratuei eusteko, gas korrosiboen inguruneak jasaten, hala nola amoniakoa (NH3), hirugarren belaunaldiko material erdieroaleen hazkunde epitaxiala lagunduz, hala nola galio nitruroa (GaN), eta LED txiben argi-eraginkortasuna eta errendimendua hobetuz. Silizio karburozko kristal bakarreko hazkuntzan, silizio karburozko itsasontziek hazi kristalezko euskarri gisa balio dute silizio karburozko kristal bakarreko hazkuntza labeetan, silizio urtuaren tenperatura altuko ingurune korrosiboari eutsiz, silizio karburozko kristal bakarren hazkuntzarako euskarri egonkorra eskaintzen dute eta kalitate handiko silizio karburozko kristal bakarren prestaketa sustatzen dute.

Silizio-karburoa ostia-ontzien garapen-joerak

Merkatuari dagokionez, SEMI datuen arabera, obleen ontzien merkatuaren tamaina 2025ean 1.400 milioi USD ingurukoa da eta 2028rako 1.800 milioi USD izatera iritsiko dela aurreikusten da. Silizio-karburoaren %20ko sartze-tasa eta Txinan merkatu-kuota heren bat suposatuz (Txina Erdieroaleen Industria Elkartearen datuak), Txinako merkatuaren tamaina 662 milioi USD eta hurrenez hurren 67 milioi USD izango litzateke.

Teknologikoki, silizio-karburoak kuartzoak baino hedapen termiko koefiziente handiagoa du, eta aplikazioetan pitzadura izateko joera handiagoa du. Hori dela eta, moldaketa-teknologia integratua sustatzen ari da fabrikazioan, josturak murrizteko eta partikulak isurtzeko arriskua murrizteko. Gainera, ostia-ontziaren hortz zirrikituaren diseinua optimizatzeak, bost ardatzeko mekanizazioarekin eta alanbre-mozketa-teknologiekin konbinatuta, obleen manipulazioaren zehaztasuna eta leuntasuna bermatzen du.

Semicorex-ek kalitate handikoa eskaintzen duSiliziozko karburoko obleak. Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com