Chuck elektrostatikoen egitura (ESC)

AnChuck elektrostatikoa (ESC)Grabaketa, deposizio edo leunketa bezalako prozesuetan erdieroaleen obleak bere lekuan eusteko erabiltzen den gailua da. Eremu elektrostatiko bat sortuz funtzionatzen du olata erakartzeko eta modu seguruan eusteko txuck-aren gainazalean, egonkortasuna eta lerrokadura zehatza eskainiz obleak manipulatzean. ESCak erdieroaleen fabrikazioan oso erabiliak dira prozesuen zehaztasuna eta obleak maneiatzeko eraginkortasuna hobetzeko.

Ohiko baten benetako irudiaChuck elektrostatikoa (ESC)irudian ageri da. Ereduen arteko desberdintasun nagusia Chuck elektrostatikoko gainazaleko geruza isolatzailean dago. Irudian, kolore ilunak aluminio nitruroa adierazten du, kolore zuriak, berriz, aluminio oxidoa. ren egiturachuck elektrostatikoahainbat zati ditu:

1. **Geruza isolatzailea**: geruza hau oblearekin kontaktuan dago, normalean aluminio nitruroz edo aluminio oxidozko zeramikaz egina, erresistentzia mekaniko bikainagatik, tenperatura altuko erresistentziagatik eta eroankortasun termiko onagatik.

2. **Ejector Pina eta He Gas Hole**: Ejector Pina ostia transferitzeko diseinatuta dago. Oblea akuaforte-ganbaran sartzen denean, ejector-pina altxatzen da hura eusteko, eta, ondoren, jaisten da oblea chuck elektrostatikoko gainazalean jartzeko. Ejector-pinak egitura hutsa izan ohi du, helio gasa sartzea ahalbidetzen duena ostia hozten laguntzeko.

3. **Back He Flow Channel**: osagai honek beroaren xahupena hobetzen du eta oblearen xurgapena errazten du.

4. **Elektrodo elektrostatikoa**: Elektrodo honek eremu elektriko bat sortzen du, obleari eusteko beharrezkoa den indar elektrostatikoa sortzen duena. Normalean, elektrodoa laua da eta material isolatzailean txertatuta edo gainean jartzen da. Gehien erabiltzen diren material eroaleak aluminioa, kobrea eta wolframioa dira.

5. **Hozte-ura eta berokuntza-elektrodoa zirkulatzen duena**: elementu hauek portagailu elektrostatikoen tenperaturaren kontrol orokorraren erantzule dira nagusiki. Berokuntza-elektrodoak eta zirkulazioko hozte-urak batera funtzionatzen dute oblearen tenperatura egonkorra mantentzeko. Hozte-uraren zirkulazioan soilik konfiantza izateak grabaketa-prozesuan sortutako beroa kudeatzeko ezintasuna ekar dezake, prozesuaren egonkortasuna arriskuan jarriz.  

Semicorex-ek kalitate handikoa eskaintzen duChuck elektrostatikoa (ESC). Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Harremanetarako telefono zenbakia +86-13567891907

Posta elektronikoa: sales@semicorex.com